[實用新型]進氣管噴嘴可調節的多晶硅還原爐無效

申請號：	200820105592.3	申請日：	2008-04-20
公開（公告）號：	CN201232028Y	公開（公告）日：	2009-05-06
發明（設計）人：	朱青松;蔣文武;王存惠	申請（專利權）人：	徐州東南多晶硅材料研發有限公司
主分類號：	C01B33/03	分類號：	C01B33/03;C30B29/06
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	221004江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	氣管噴嘴調節多晶還原
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【權利要求書】：

進氣管噴嘴可調節的多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣進氣管噴嘴、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質制成，每對電極分正、負極均勻的設置在底盤上，混和氣進氣管分為數個噴嘴均勻設置在底盤上，其特征是混和氣進氣管噴嘴為有外絲的噴氣裝置，通過螺絲連接在底盤有內絲的進氣口上。

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