[實用新型]折合式真空裝置

無效

• 申請號: 200820105348.7
• 申請日: 2008-05-08
• 公開（公告）號: CN201206164Y
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 黃泳釗;鄭博仁
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 中國商標專利事務所有限公司
• 代理人: 萬學堂;桑麗茹

技術領域

本實用新型是一種真空裝置，特別是涉及一種供鍍膜作業使用的折合式真空裝置。

背景技術

在半導體、電機電子與光電產業中，許多制程都需要在真空裝置中進行鍍膜，而且隨著制品需求的不同，有些基板需要經過多道鍍膜步驟以形成多種不同材質的膜層，目前市面上已出現一種如圖1所示的真空裝置1，能用于供多數片連續排列的基板10輸送通過，其包括多個長串連接排列的中空腔體11、一個用于帶動基板10輸送通過所述腔體11的輸送單元12，及多個分別安裝在腔體11的一側上且用于在基板10上鍍膜的靶材13。腔體11的數量對應于所設定的鍍膜層數，每一腔體11具有一個可被控制啟閉的腔室111。

鍍膜時，操作人員將基板10直立排放在輸送單元12上，利用輸送單元12送入腔體11中，并循著箭頭所示方向通過所述腔室111中，藉由靶材13分別在基板10上鍍膜，最后再將基板10送出。當然，在實際操作時，為了加速制程，一般會持續地將基板10接連放置在輸送單元12上，以連續不斷地進行鍍膜作業。

雖然上述真空裝置1的每一靶材13都會在基板10表面鍍上不同膜層，但是由于該真空裝置1只是呈現單線排列，所以當腔體11的數目較多時，真空裝置1的延伸長度會相當長，此時，廠房就需要占用較寬敞的地方來擺放真空裝置1，此將導致所需成本較高。此外，當基板10需要鍍上的膜層數目較真空裝置1設置的腔體11的數目多，或是需要在基板10的雙側表面上都要鍍膜時，操作人員必須分批多次地將基板10重復送入真空裝置1，進行不同材質的鍍膜，此將造成生產效率較低。

實用新型內容

本實用新型的主要目的，是在于提供一種減少占用空間且生產效率較高的折合式真空裝置。

本實用新型的一種折合式真空裝置，供至少一基板輸送通過，并包括：一第一腔體單元、一第二腔體單元、一真空連接單元、多個第一靶材，及多個第二靶材。該第一腔體單元包括內、外間隔相對的一第一內壁與一第一外壁、間隔相對地形成在第一內壁與第一外壁間兩端的一第一入口與一第一出口，及多個彼此連接串列地形成在第一入口與第一出口間的第一腔室，所述基板會由第一入口進入，通過所述第一腔室以后再由第一出口輸出。該第二腔體單元與第一腔體單元對應并列，并包括內、外間隔相對的一第二內壁與一第二外壁、間隔相對地形成在第二內壁與第二外壁間兩端的一第二出口與一第二入口，及多個彼此連接串列地形成在第二出口與第二入口間的第二腔室，該第二內壁鄰近第一內壁，且第二外壁遠離第一內壁，所述基板會由第二入口進入，通過所述第二腔室以后再由第二出口輸出。該真空連接單元是連接第一腔體單元與第二腔體單元，并包括一安裝在第一出口旁側的第一回轉件，及一安裝在第二入口旁側的第二回轉件，第一回轉件將輸出第一出口的基板轉向輸送至第二回轉件，且第二回轉件再將基板轉向送入第二入口。所述第一靶材分別安裝在第一內壁或/及第一外壁上且連通第一腔室，乃用于在所述基板上鍍膜。所述第二靶材分別安裝在第二內壁或/及第二外壁上且連通第二腔室，乃用于在所述基板上鍍膜。

本實用新型的有益效果在于：將第一、二腔體單元對折成兩段，所以能減小所占用的空間，降低所需成本，此外再依照需要選擇安裝第一、二靶材，以提升腔體利用率達到減少占用空間以及生產效率較高的功效。

附圖說明

圖1是一種以往真空裝置的裝置示意圖；

圖2是本實用新型的折合式真空裝置的一第一較佳實施例的一簡單示意圖；

圖3是本實用新型的折合式真空裝置的一第二較佳實施例的一簡單示意圖；

圖4是本實用新型的折合式真空裝置的一第三較佳實施例的一簡單示意圖；及

圖5是本實用新型的折合式真空裝置的一第四較佳實施例的一簡單示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明：

為了方便說明，以下的實施例，相同的元件以相同的標號表示。

如圖2所示，本實用新型折合式真空裝置的第一較佳實施例，是供多數片連續排列的基板2輸送通過，每一基板2具有內外相反的內側面21與外側面22。該折合式真空裝置包括：雙線平行排列的一第一腔體單元3與一第二腔體單元4、一連接第一腔體單元3與第二腔體單元4的真空連接單元5、一用于輸送所述基板2的輸送機構6、多個分別安裝在第一腔體單元3上的第一靶材7，及多個分別安裝在第二腔體單元4上的第二靶材8。