[實用新型]用于直線位移測量的傳感器

無效

• 申請號: 200820100153.3
• 申請日: 2008-09-27
• 公開（公告）號: CN201311269Y
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發明（設計）人: 彭東林;楊偉;王先全;劉小康;張興紅;董淳;馮濟琴;鄭方燕
• 申請（專利權）人: 重慶工學院
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02;G01D5/243
• 代理公司: 重慶華科專利事務所
• 代理人: 康海燕

1、一種用于直線位移測量的傳感器，傳感器有兩部份等分開槽的直線形基體構成繞制線圈的骨架，作為長尺或短尺；其特征在于一基體上繞有激勵線圈，另一基體上繞有感應線圈；感應線圈與激勵線圈相對運動；激勵線圈連接激勵電源，激勵信號和感應線圈輸出的電信號分別連接到放大電路，再經整形電路整形后，由數字比相器進行相位比較；兩路信號的相位差由插補的時鐘脈沖個數表示，再換算成直線位移值，直接或經微處理器及存儲器處理后作直線位移數據顯示。

2、一種用于直線位移測量的傳感器，傳感器有2-3部份等分開槽的直線形基體構成繞制線圈的骨架，作為長尺或短尺；其特征在于對于采用兩部分基體的情況，一基體上共同繞有激勵線圈和第一感應線圈，另一基體上繞有第二感應線圈；對于采用三部分基體的情況，激勵線圈和第一感應線圈分別繞在兩個相對位置不動的基體上，第三基體上繞有第一感應線圈，第一感應線圈與激勵線圈保持空間位置不變，第二感應線圈與激勵線圈相對運動；在這兩種情況下，激勵線圈連接激勵電源，在兩組感應線圈上分別獲得頻率相同而相位固定的和變化的兩路電信號，兩路輸出的電信號分別連接放大電路，再經整形電路整形后，由數字比相器進行相位比較；兩路信號的相位差由插補的時鐘脈沖個數表示，再換算成直線位移值，直接或經微處理器及存儲器處理后作直線位移數據顯示。

3、如權利要求1或2所述的用于直線位移測量的傳感器，其特征在于感應線圈由1個或多個感應線圈串聯或并聯組成，線圈位置按空間均布。

4、如權利要求3所述的用于直線位移測量的傳感器，其特征在于基體上的等分開槽是用兩種不同直徑的圓柱體或球體分兩層排列而形成，直徑大的緊密排列固定成為緊靠基體的一層；直徑小的排列固定在兩大直徑的圓柱體或球體之間的各個槽中，形成另一層，從而自然形成等分的開槽。

5.如權利要求3所述的用于直線位移測量的傳感器，其特征在于，在作為長尺的基體上，既具有長尺繞線骨架基準面，又具有供短尺滑動的導程基準面，短尺通過長尺上的導程基準面安裝在長尺上，與長尺融為一體，并沿長尺相對滑動。

6.如權利要求3所述的用于直線位移測量的傳感器，其特征在于所述存儲器中固化有本時柵位移傳感器與其它高精度傳感器進行比對實驗后得到的全程系統誤差數據，用于誤差修正。