[實用新型]擴散氫氣互鎖裝置

無效

• 申請號: 200820094859.3
• 申請日: 2008-06-17
• 公開（公告）號: CN201229485Y
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: 康鵬飛;鄭維發
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: G05B11/01
• 分類號: G05B11/01
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

【技術領域】

本實用新型涉及機電控制領域，尤其涉及一種擴散氫氣互鎖裝置。

【背景技術】

熱擴散爐是生產半導體器件和大規模集成電路的重要前工藝設備，在熱擴散爐中反應的氣體主要是氫氣和混合氧氣，而由于氫氣在空氣或氧化劑存在的情況下能引起爆炸，存在一定的危險性。如果熱擴散爐中的氫氣不能被完全反應，而有殘余氫氣排到排空管道中或者經排空管道排到外面的話，容易與空氣或氧化劑接觸引起爆炸，從而存在嚴重的安全隱患，造成不可估計的損害。

【實用新型內容】

本實用新型實施例提供了擴散氫氣互鎖裝置，實現根據熱擴散爐中的溫度控制氫氣閥門的開啟或關閉。

本實用新型實施例提供的擴散氫氣互鎖裝置，包括：

運放電路(101)、比較器(102)、驅動開關管(103)、繼電器(104)、氫氣閥門(105)，其中，

所述運放電路(101)的信號輸入端與用于探測熱擴散爐溫度的S型熱電偶連接，接收溫度電信號，輸出放大后的溫度電信號；

所述比較器(102)的第一輸入端與所述運放電路的輸出端連接，第二輸入端接入設定的溫度電信號，根據所述放大后的溫度電信號、以及所述設定的溫度電信號輸出控制信號；

所述驅動開關管(103)與所述比較器(102)的輸出端連接，根據所述控制信號輸出驅動信號，控制所述繼電器(104)的通斷；

所述繼電器(104)的輸入端與所述驅動開關管(103)連接，輸出端與所述氫氣閥門(105)連接，接收所述驅動信號，控制所述氫氣閥門(105)的開啟或關閉。

可選的，運放電路(101)包括：運算放大器(201)，運算放大器(201)的正信號輸入端、負信號輸入端與所述熱電偶連接，電阻(R4)連接在運算放大器(201)的負信號輸入端與正信號輸出端之間，電阻(15)連接在運算放大器(201)的信號輸出端與比較器(102)的第一信號輸入端之間。

可選的，電阻(R4)為可調電阻。

可選的，運算放大器(201)為OP07。

可選的，運放電路(101)包括：運算放大器(201)、運算放大器(301)，其中，

運算放大器(201)的正信號輸入端、負信號輸入端與所述熱電偶相連接，電阻(R4)連接在運算放大器(201)的負信號輸入端與其信號輸出端之間，電阻R5連接在運算放大器(201)的負信號輸入端與信號輸出端之間，

電阻(R9)連接在運算放大器(301)的負信號輸入端與信號輸出端之間，電阻(R8)連接在運算放大器(301)的信號輸出端與比較器(102)的第一信號輸入端之間。

可選的，運算放大器(201)、運算放大器(301)為：OP07。

可選的，電阻(R9)為：可調電阻。

可選的，比較器(102)為：LM339。

可選的，氫氣閥門(105)還與氧氣閥門相連接，接收氧氣流量值，根據氧氣流量值設定氫氣的流量。

可選的，驅動開關管(103)為：TIP120、TIP121、或TIP122。

由上可見，使用本實施例的技術方案，采用S型熱電偶探測熱擴散爐中的溫度，并將S型熱電偶探測溫度所產生的溫度電信號進行放大，將放大的溫度電信號與根據設定的溫度電信號進行比較，產生一控制信號，再由驅動開關管103根據該控制信號產生一驅動信號，控制繼電器104的通斷，由繼電器104的通斷進而控制氫氣閥門105的開啟或關閉，實現根據熱擴散爐的溫度來控制氫氣閥門105的開啟或關閉。

【附圖說明】

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型的不當限定，在附圖中：

圖1為本發明實施例1提供的擴散氫氣互鎖裝置的結構示意圖；

圖2為本發明實施例2提供的擴散氫氣互鎖裝置的電路示意圖；

圖3為本發明實施例3提供的擴散氫氣互鎖裝置的電路示意圖。

【具體實施方式】

下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型，在此本實用新型的示意性實施例以及說明用來解釋本實用新型，但并不作為對本實用新型的限定。

實施例1：

圖1所示為本實施例的擴散氫氣互鎖裝置的結構示意圖，如圖示，該裝置的電路如下：