[實用新型]勻膠機加濕器

無效

• 申請號: 200820093836.0
• 申請日: 2008-04-30
• 公開（公告）號: CN201218900Y
• 公開（公告）日: 2009-04-08
• 發明（設計）人: 張落成;陳家生
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;F24F6/10
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

【技術領域】

本實用新型涉及一種加濕器，尤其涉及半導體生產中使用的勻膠機加濕器。

【背景技術】

在半導體的生產中，勻膠機是進行涂布光刻(感光)膠的專用設備。其工作原理是利用高速旋轉時產生的離心力，將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去，在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下，展成厚度均勻的膠膜。

勻膠工藝中對于環境濕度、溫度和風度都有嚴格的要求，因此在勻膠機中一般使用加濕器調節干燥環境下的濕度，一般設定相對濕度為45％。

現有的加濕器腔體內部設有加熱棒，以加熱腔體中的水，加濕器殼體頂部上設有一個大概2cm寬，12cm長的固定開口，水加熱后產生的水蒸氣由此冒出，增加工作環境的相對濕度。當外界較為干燥，需要較大濕度時，由于開口是固定大小，為了達到濕度的要求，需要增加加熱棒的溫度以增加水蒸氣的供給，濕度增加的同時溫度也增加。在外界環境非常干燥的時候，為了達到濕度就無法滿足溫度要求，因此勻膠機比較依賴于外界環境，工作范圍比較窄。

【實用新型內容】

本實用新型的目的是針對現有技術的不足，提供一種對外界環境依賴小，工作范圍較寬的勻膠機加濕器。

本實用新型采用以下技術方案：

一種勻膠機加濕器，包含殼體和設置于殼體底部的加熱棒，殼體上設有可調節的蒸汽出口。

其中：可調節的蒸汽出口包含開設于殼體上的開口和可調節開口大小的推拉擋板。

其中：殼體為方形，開口設于殼體頂面的中部，殼體上設有供推拉擋板滑動的滑槽，殼體內設有一容推拉擋板滑入的容納槽。

其中：推拉擋板在遠離容納槽的一端設有供移動推拉擋板的拉手或凹槽。

其中：殼體為方形，開口設于殼體的頂面，頂面上在開口的附近設有滑軌，推拉擋板上設有與滑軌配合的滑槽。

其中：殼體為方形，開口設于殼體的頂面，開口的一端延伸至頂面的棱，殼體上設有供推拉擋板滑動的滑槽。

其中：推拉擋板上設有供移動推拉擋板的拉手或凹槽。

由于水蒸氣出口的大小可調節，在較為干燥的環境下，由于出口可以調大，單位時間內水蒸氣的供應量增大，在相對較低的水溫下就可以滿足濕度的要求，不僅比較容易兼顧溫度和濕度，同時還省電。

【附圖說明】

圖1本實用新型實施例一的結構示意圖

圖2本實用新型實施例一中推拉擋板采用滑軌與滑槽配合的結構示意圖

圖3本實用新型實施例二的結構示意圖

1-開口??????2-推拉擋板?????4-加濕器頂端

11-立緣?????21-拉手????????41-容納槽

3-加熱棒????22-滑槽????????42-滑軌

下面結合附圖對本實用新型進行進一步說明。

【具體實施方式】

本實用新型是在勻膠機加濕器上設置可調節的開口，根據環境濕度的變化調節開口的大小，以達到省電和擴大勻膠機工作范圍的效果。

實施例一

如圖1所示，加濕器內部有一空腔，空腔底部放置加熱棒3，空間內部放置液態水，開口1設置在加濕器頂部4的中央，開口1完全拉開的尺寸遠大于現有加濕器固定開口的尺寸。有一推拉擋板2可在開口1中滑動，以調節開口1的大小。開口1和推拉擋板2的配合就構成了可調節的蒸汽出口。

為了配合推拉擋板2的滑動，開口1的內壁上設有滑槽，最好是在推拉擋板2的端部設置拉手21，方便拉動。同時在加濕器頂端4設有一容納槽41，當開口1需要調大的時候，推拉擋板2部分滑入容納槽41中。為了方便移動推拉擋板2，可以在其遠離容納槽41的一端設置拉手21。

當外界濕度接近工作要求的濕度時，可以通過移動推拉擋板2調小甚至關閉開口1，加熱棒3加熱后產生的水蒸氣只能通過較小的開口1外逸，避免工作環境的濕度過大。

當外界濕度很干燥，需要增大工作環境濕度時，可以通過移動推拉擋板2，使其部分甚至全部滑入容納槽41中來調大開口1的尺寸。在加熱棒3溫度相同的情況下，越大的開口1能夠逸出更多的水蒸氣。因此，在干燥環境中，為了達到同樣的濕度，本實用新型相對于現有的加濕器對加熱棒3的溫度要求較低，可以在達到濕度要求的同時滿足溫度的要求，還節省加熱的電力成本。在現有結構的加濕器因為無法同時滿足濕度和溫度要求的干燥環境中，本實用新型通過調節開口1的大小正常工作。