[實用新型]一種用于掃描探針顯微鏡的壓電陶瓷掃描器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820060198.2 | 申請日： | 2008-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN201219036Y | 公開（公告）日： | 2009-04-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 程傳東;胡志強;羅先照;張波;孫鑫 | 申請（專利權(quán)）人： | 程傳東;胡志強 |
| 主分類號： | G12B21/22 | 分類號： | G12B21/22;G01N13/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200072*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 掃描 探針 顯微鏡 壓電 陶瓷 掃描器 | ||
1、一種用于掃描探針顯微鏡的壓電陶瓷掃描器，主要包括外殼(1)、壓電陶瓷管I(2)、壓電陶瓷管II(3)、導(dǎo)電基座(4)和塑膠導(dǎo)線(5)，所述外殼(1)上具有一凸緣形成的安裝平臺(6)，外殼(1)內(nèi)側(cè)固定支架(7)，所述壓電陶瓷管位于外殼(1)的內(nèi)筒中，所述外殼(1)的掃描端(10)的內(nèi)壁形成一凸臺，凸臺內(nèi)置放磁粒(11)，所述導(dǎo)電基座(4)固定在掃描端(10)；所述塑膠導(dǎo)線(5)自壓電陶瓷管的不同導(dǎo)電層引出，其特征在于：所述壓電陶瓷管I(2)中間設(shè)有絕緣層(29)，壓電陶瓷管I(2)的內(nèi)外表面分別涂有相互對應(yīng)的4個導(dǎo)電層，所述壓電陶瓷管II(3)中間設(shè)有絕緣層(31)，壓電陶瓷管II(3)內(nèi)外表面分別涂有導(dǎo)電層(32)、導(dǎo)電層(33)；所述壓電陶瓷管I(2)通過絕緣套(8)與壓電陶瓷管II(3)相連接；壓電陶瓷管I(3)固定在支架(7)上，所述壓電陶瓷管II(3)與外殼(1)之間固定有避震環(huán)(9)，壓電陶瓷管II(3)與導(dǎo)電基座(4)通過絕緣套(8)相連。
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