[實用新型]一種晶圓盒

有效

• 申請號: 200820057135.1
• 申請日: 2008-04-10
• 公開（公告）號: CN201188416Y
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 黃曉君;劉明;彭小艷;陳宇涵
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;B65D25/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及晶圓盒的設計領域，尤其涉及一種易于搬運和底盤不易脫落的晶圓盒。

背景技術

在集成芯片的制程中，用于制作芯片的晶圓在不同制程之間以及制程中運輸過程中都是儲藏在晶圓盒(Pod)中運輸的。晶圓盒的使用可為晶圓提供較高潔凈度環境，避免晶圓受到潔凈度相對晶圓盒內要低的制作車間內污染源的污染。為提高晶圓盒利用率，通常一個晶圓盒中會儲藏多片晶圓。傳統的晶圓盒請參見圖1和圖2，晶圓盒由罩面1和底盤4組成。罩面1的兩側面上分別安裝有把手2，如圖1所示把手2為平板把手。底盤4的兩側面分別開有兩個卡槽44，每個卡槽44內都安放了如圖3所示的卡桿3。每個卡桿3上都制作有一個向上彎曲的卡齒31和向下彎曲的卡齒32。罩面1的底部12兩側的內壁分別有兩個如圖4所示的方形槽孔5。當將底盤4卡槽44內卡齒31和32旋入罩面1底部12內壁對應的方形槽孔5內時，底盤4就可和罩面1連接。

由于晶罩盒內會同時裝有多片晶圓，在不同的制程中會使得平板把手2會變得濕滑，很容易導致晶圓盒從工作人員手中滑落，導致晶圓盒的損毀。同時，當晶圓盒內放入晶圓后，底盤上的卡齒受力會增大，由于卡齒31為向上彎曲的卡齒，易從方形槽孔5內滑出，導致卡齒31損毀，使得底盤4易脫落。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種晶圓盒，以解決傳統晶圓盒存在的晶圓盒易從工作人員手中滑落的問題，以及底盤易與罩面脫落的問題。

為達到上述目的，本實用新型的晶圓盒，它包括罩面和底盤，罩面底部兩側的內壁分別開有兩個槽孔；底盤兩側面對應開有兩個卡槽，該卡槽內安放有卡桿，該卡桿上具有卡齒；底盤通過將卡齒旋入該罩面底部對應的槽孔內與罩面連接，其中，晶圓盒還包括安裝在罩面兩側壁的把手，該把手包括安裝桿，自安裝桿側壁延伸出拱形卡手槽，自該拱形卡手槽底部延伸出此把手的托翼，安裝桿與所述罩面的側壁連接。該卡桿上具有兩個向下彎曲的卡齒。罩面底部兩側的內壁分別開的兩個槽孔，每個槽孔由用于安放卡桿上兩個向下彎曲的卡齒的兩個方形槽組成。該罩面為六面體，底面開口的罩面，底面開口處面積略大于罩面上端面積。該底盤為方形底盤，此方形底盤面積等于罩面底面開口處面積。

與目前的晶圓盒相比，本實用新型的晶圓盒，通過安裝帶有卡手槽以及托翼的把手，工作人員可用手掌托住把手，將手指放入卡手槽內，這樣整個晶圓盒就不易從工作人員的手中滑落。同時，卡桿具有的兩個卡齒均向下彎曲，使得卡盤上卡齒受力能力增大，能增大底盤的承載力，底盤不易與罩面脫落。

附圖說明

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型的晶圓盒作進一步詳細具體地描述。

圖1是傳統晶圓盒罩面示意圖。

圖2是傳統晶圓盒底盤示意圖。

圖3是圖2所示底盤側壁卡槽內卡齒示意圖。

圖4是圖1所示罩面底部內壁槽孔示意圖。

圖5是本實用新型晶罩盒把手俯視示意圖。

圖6是圖5所示把手側視示意圖。

圖7是本實用新型底盤側壁卡槽內卡齒示意圖。

圖8是本實用新型晶圓盒示意圖。

具體實施方式

本實用新型晶圓盒，它包括如圖1所示罩面1和如圖2所示底盤4，罩面1底部兩側的內壁分別開有兩個槽孔，底盤兩側面對應開有放置卡桿的兩個卡槽44，安裝在卡槽44內的卡桿具有卡齒；底盤通過將卡齒旋入該罩面底部對應的槽孔內與罩面連接。從圖1可看出，罩面1為六面體，底面開口的罩面，底面開口處面積略大于罩面上端面積。從圖2可看出底盤為方形底盤，此方形底盤面積等于罩面底面開口處面積。本實用新型的晶圓盒還包括如圖5或圖6所示安裝在罩面1兩側壁的把手7，此把手包括安裝桿71，自安裝桿側壁延伸出拱形卡手槽72，自拱形卡手槽72底部延伸出把手7的托翼73，該安裝桿71與罩面1的側壁連接。把手7安裝時，可按卡手槽72朝下，托翼73朝上的方式將安裝桿71安裝在罩面1的兩側面，這樣手指可抓住卡手槽，手掌抵住托翼，在運輸晶圓盒時，晶圓盒就不易從手中脫落。或者，把手7安裝時，按卡手槽72朝上，托翼73朝下的方式將安裝桿71安裝在罩面1的兩側面，仍可用手掌抵住托翼，手指放入卡手槽來握住把手7。安裝在如圖2所示底盤卡槽內卡桿示意圖請參見圖7。卡桿8上具有兩個均向下彎曲的卡齒81，這樣當將卡齒81旋入罩面1對應的方形槽孔5內時，兩個卡齒能同時受力，這樣可有效增大底盤4的承載力，使得底盤在承受多片晶圓的重力之下不易與罩面1脫落。