[實用新型]晶圓傳輸盒上電子標簽的輔助固定元件

有效

• 申請號: 200820055031.7
• 申請日: 2008-01-24
• 公開（公告）號: CN201163612Y
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發明（設計）人: 任鵬;程杰;馬海;李洪燕
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/673;B65D25/20;B65D1/40;G09F3/08;G09F3/16
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造工廠內的晶圓傳輸盒(Pod)，具體地說，涉及一種晶圓傳輸盒上用于固定電子標簽的輔助固定元件。

背景技術

目前，半導體制造工廠內，晶圓傳輸盒是主要的晶圓存放傳輸裝置，一般可垂直存放25片晶圓。晶圓傳輸盒面向工作人員的一側安裝有電子標簽(tag)和以及存放紙標簽的塑料的標簽袋。電子標簽用于記錄晶圓傳輸盒內各種信息，包括晶圓尺寸、用途、批號以及需要執行的工序等等。一些無法輸入電子標簽中的信息，則采用手寫的方式記錄在標簽袋中的紙標簽上，以方便工作人員在制造過程中查詢信息。

晶圓傳輸盒在靠近底端的位置設有夾持部，其中間設有一個自上向下延伸的狹槽。電子標簽安裝有一個固定件，固定件的底端是一個可插入狹槽的插入板，插入板兩側設有螺紋孔。安裝時，電子標簽的插入板插入固定件的狹槽內，然后采用螺絲旋入所述螺紋孔內進一步固定。使用過程中，因為如更換電池、修理維護等各種原因常常需要拆卸電子標簽。夾持部具有一定的使用壽命，多次拆卸很容易損壞夾持部。一旦夾持部不能使用，整個傳輸盒就報廢不能使用了。晶圓傳輸盒的成本很高，在晶圓傳輸盒報廢原因分析時發現，將近25％的晶圓傳輸盒報廢是因為電子標簽的固定件損壞造成的。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型解決的技術問題是提供一種晶圓傳輸盒上電子標簽的輔助固定元件，其可與傳輸盒的夾持部共同或者代替夾持部固定電子標簽。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶圓傳輸盒上電子標簽的輔助固定元件。所述晶圓傳輸盒具有頂面、安裝電子標簽的前端面以及設有前端面底部的固定電子標簽的夾持部。所述輔助固定元件包括沿晶圓傳輸盒頂面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且與夾持部位置對應的下固定板；其中所述下固定板與所述夾持部共同或者代替夾持部固定電子標簽。

本實用新型提供的晶圓傳輸盒上電子標簽的輔助固定元件，其與傳輸盒本身的夾持部一起固定電子標簽，在夾持部部分損壞的情況下，也可以起到固定電子標簽的作用；另外，即使夾持部完全損壞了，只要輔助元件具有足夠的強度和硬度，也可以代替夾持部固定電子標簽，一定程度上提高了晶圓傳輸盒的利用率。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中的輔助固定元件的立體示意圖；

圖2為圖1所示輔助固定元件安裝在晶圓傳輸盒上的立體示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的晶圓傳輸盒上電子標簽的輔助固定元件其中一實施例進行描述，以進一步理解本實用新型的目的、具體結構特征和優點。

請參閱圖2，首先定義晶圓傳輸盒1用于安裝電子標簽2和標簽袋3的端面為前端面11。標簽袋3用于存放紙標簽31，標簽袋3頂端設有兩個固定孔30，分別與設于傳輸盒1的頂端面12的兩上螺紋孔(未標示)相對應。

電子標簽2的背面安裝有狹長的固定板20，且固定板20上設有兩個下螺紋孔201。傳輸盒1底部兩側各設置一個夾持部13，每一個夾持部13具有一個自上向下延伸的狹長凹槽，用于收容固定所述電子標簽2的固定板20。

本實用新型提供了一種輔助夾持部13固定電子標簽2的輔助固定元件4，如圖1所示。請參閱圖1結合圖2，該輔助固定元件4包括沿傳輸盒1頂端面12延伸的上固定板41以及沿傳輸盒1前端面11延伸的支架，所述支架為彼此分離向下延伸的兩子支架42。所述上固定板41設有與傳輸盒1頂端面12的兩上螺紋孔位置對應的通孔410。每一子支架42的末端彎折形成下固定板43，位置與電子標簽2的夾持部13相對應。兩下固定板43末端設有朝向彼此延伸的延伸部，延伸部上設有與下螺紋孔201對應的輔助螺紋孔430。

安裝時，首先將輔助固定元件4安裝在傳輸盒1上，然后安裝標簽袋3，采用螺絲依次穿過固定孔30和通孔410旋入上螺紋孔內，以將輔助固定元件4和標簽袋3的頂端固定。輔助固定元件4的下固定板43位于傳輸盒1的夾持部13附近，如果夾持部13部分損壞，下固定板43可以起到進一步固定的作用。如果夾持部13完全損壞，只要輔助固定元件4具有足夠的強度和硬度，通過下螺紋孔201和輔助螺紋孔430可以將電子標簽穩定安全的固定在該位置上。

進一步地，所述輔助固定元件的兩子支架42對應標簽袋3底部位置處向外、向上延伸的彈片420。晶圓運輸過程中，所述彈片420將標簽袋3底部夾住固定，這樣，就有效避免了在運輸過程中因標簽袋3搖擺產生不必要當機的狀況。