[實用新型]新型多晶硅還原爐之水冷電極無效
| 申請號: | 200820032050.8 | 申請日: | 2008-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN201180090Y | 公開(公告)日: | 2009-01-14 |
| 發明(設計)人: | 張旭平;劉成玲;張世萍;高培利;浩南楠 | 申請(專利權)人: | 江蘇雙良鍋爐有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務所 | 代理人: | 唐紉蘭 |
| 地址: | 214444江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 新型 多晶 還原 水冷 電極 | ||
【權利要求書】:
1、一種新型多晶硅還原爐之水冷電極,其特征在于所述電極包括加熱體(1)、石墨頭(2)、電極體(3)、電源夾具(4)、冷卻水進口管(5)和冷卻水出口管(6),加熱體(1)和電極體(3)分別設置在石墨頭(2)二端,電源夾具(4)夾置在電極體(3)的外緣,冷卻水進口管(5)由電極體(3)一端插入電極體(3)中心空腔內,冷卻水出口管(6)設置在電極體(3)的一端,與電極體(3)中心空腔相連通。
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