[發(fā)明專利]一種用于硅晶片拋光的拋光組合物

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810247567.3
• 申請日: 2008-12-30
• 公開（公告）號: CN101451046A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘國順;顧忠華;高峰;雒建斌;路新春;劉巖
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);深圳清華大學(xué)研究院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;H01L21/306
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 朱 琨

1.一種用于硅晶片拋光的拋光組合物，其組分及配比為：

所述拋光界面控制劑為多羥基纖維素醚。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 二氧化硅為膠體二氧化硅，二氧化硅顆粒粒徑為1～500nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 堿性化合物為氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸銨、碳酸氫銨、碳酸氫鉀、碳酸鉀、 碳酸氫鈉、碳酸鈉、四甲基氫氧化銨、氨、二甲基胺、三甲基胺、乙基胺、二 乙基胺、三乙基胺、氨基丙醇、四乙基胺、乙醇胺、二乙基三胺、三乙基四胺、 羥乙基乙二胺、六亞甲基二胺、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺、無水哌嗪、六 水哌嗪中的一種或幾種。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 氨基丙醇為異丙醇胺。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 螯合劑為乙二胺四乙酸、丙二胺四乙酸、二乙基三胺五乙酸、三乙基四胺六乙 酸、乙二胺四亞乙基膦酸、乙二胺四亞甲基膦酸、二乙三胺五亞乙基膦酸、二 乙三胺五亞甲基膦酸、三乙四胺六亞乙基膦酸、丙二胺四亞乙基膦酸以及丙二 胺四亞甲基膦酸，以及它們的銨鹽、鉀鹽、鈉鹽和鋰鹽中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 表面活性劑為非離子表面活性劑、陰離子表面活性劑或陽離子表面活性劑中的 一種或幾種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述 多羥基纖維素醚為二羥丙基纖維素醚，結(jié)構(gòu)式為：

其中，n為≥2的整數(shù)；

結(jié)構(gòu)式中R為以下基團中的一種：

R為

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，所述非離子表面活性 劑為聚二甲基硅氧烷、二甲基聚硅氧烷聚醚共聚物、聚氧乙烯(9)月桂醇醚、脂 肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、聚氧丙烯聚氧乙烯 嵌段共聚物、聚丙烯酰胺中的一種或幾種；陰離子表面活性劑為十二烷基苯磺 酸鈉、十二烷基磺酸鈉，α-烯烴磺酸鈉、丁二酸二異辛酯磺酸鈉、脂肪醇(10)聚 氧乙烯、醚羧酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉中的一種或幾種；陽離子表面活 性劑為十四烷基二甲基芐基氯化銨、十二烷基三甲基氯化銨、瓜耳膠羥丙基三 甲基氯化銨、溴化十二烷基三甲基銨、溴化十二烷基二甲基芐基銨中的一種或 幾種。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于硅晶片拋光的拋光組合物，其特征在于，所述二 羥丙基纖維素醚分子量為30～300萬。

10.一種用于硅晶片拋光的拋光組合物的制備方法，其特征在于，所述方法 具體步驟為，

1)將膠體二氧化硅用攪拌器將其分散于去離子水中，得到磨料濃度為 0.05～50wt％的漿液；

2)加入拋光界面控制劑，占拋光組合物的0.001％～10wt％，在攪拌器中使 拋光界面控制劑與膠體二氧化硅充分混合，且拋光組合物中膠體二氧化硅的與 拋光界面控制劑的質(zhì)量比為10～500，所述拋光界面控制劑為多羥基纖維素醚；

3)依次加入表面活性劑、螯合劑，分別占拋光組合物的0.001％～1wt％和 0.001～1wt％，以保證拋光組合物體系保持穩(wěn)定；

4)加入堿性化合物，占拋光組合物的0.001～10wt％，并將拋光組合物pH調(diào) 節(jié)至8.5～12；

5)用孔徑為0.5μm的濾芯對拋光組合物進行過濾，以除去拋光組合物中的 大顆粒雜質(zhì)，即獲得本發(fā)明所述的拋光組合物。