[發明專利]一種高光學質量硒化鋅的制備方法有效
| 申請號： | 200810246543.6 | 申請日： | 2008-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN101759161A | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發明（設計）人： | 蘇小平;王鐵艷;張福昌;霍承松;魏乃光;趙永田;魯泥藕;付利剛 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;北京國晶輝紅外光學科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B19/04 | 分類號： | C01B19/04 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 童曉琳 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光學 質量 硒化鋅 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高光學質量硒化鋅的制備方法，采用化學氣相沉積工藝，其特征在 于，該方法步驟為，
(1)將鋅放入沉積爐內；
(2)通過真空泵對沉積爐抽真空，使真空度為1×104～5×104Pa；
(3)將沉積室升溫至450～600℃，鋅融化并蒸發后，繼續升溫至650～800℃， 并保溫；
(4)以氬氣作為反應原料氣體H2Se的攜帶氣體，通過質量流量計將H2Se氣體 按照設定值0.5～2L/min、氬氣按照5～20L/min的流量通入沉積室中，鋅與H2Se 的摩爾比為0.8～1.2，沉積室內壁發生沉積反應，硒化鋅開始生長；
(5)每隔一個小時檢測一次Zn的蒸發量，通過調節質量流量計使得H2Se與鋅 的摩爾比保持不變，隨時監測沉積室的壓力，通過調整真空泵的抽氣速率，保持 進/出沉積室氣體總量不變，沉積室內壓力恒定，沉積時間為15～25天，然后以 0.1～0.5℃/min的降溫速率降至室溫，得到高光學質量的硒化鋅。
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