[發明專利]多種化學品共腔處理裝置無效
| 申請號： | 200810230103.1 | 申請日： | 2008-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN101760741A | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發明（設計）人： | 孫東豐;徐春旭 | 申請（專利權）人： | 沈陽芯源微電子設備有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08;C30B33/10;H01L21/306 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多種 化學品 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多種化學品共腔處理裝置，其特征在于：該裝置主要設有藥液杯、藥液杯外腔、藥液杯內腔，可升降的藥液杯置于藥液杯外腔與藥液杯內腔之間。
2.按照權利要求1所述的多種化學品共腔處理裝置，其特征在于：可升降的藥液杯與升降汽缸相連。
3.按照權利要求1所述的多種化學品共腔處理裝置，其特征在于：該裝置內側安裝旋轉馬達，旋轉馬達安裝在電機法蘭上，承片臺安裝在旋轉馬達的軸上，晶片放置在承片臺上。
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