[發明專利]用于測試曲面間隙的柔順式雙層電渦流傳感器的制備方法無效
| 申請號： | 200810227374.1 | 申請日： | 2008-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN101408404A | 公開（公告）日： | 2009-04-15 |
| 發明（設計）人： | 丁天懷;王鵬;胡穎 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G01B7/14 | 分類號： | G01B7/14;G01N27/90 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所 | 代理人： | 羅文群 |
| 地址： | 1000*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測試 曲面 間隙 柔順 雙層 渦流 傳感器 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于測試曲面間隙的柔順式雙層電渦流傳感器的制備方法，包括以下步驟：
(1)在聚酰亞胺薄膜基底上開孔，孔徑為250-350μm；
(2)在聚酰亞胺薄膜基底正反兩個表面以及開孔上分別覆合銅箔，聚酰亞胺薄膜的厚度為100μm-200μm，銅箔的厚度為15μm-20μm；
(3)在上述正面銅箔進行光刻，以上述開孔為中心形成電渦流線圈，在每個電渦流線圈的一側形成外引線，在上述反面銅箔進行光刻，在上述開孔之間形成內引線，得到上層電渦流傳感器；
(4)重復步驟(1)、(2)和(3)，得到下層電渦流傳感器；
(5)用密封膠使上述上、下層電渦流傳感器相互粘結，得到雙層電渦流傳感器，粘結時，上、下層電渦流傳感器的內引線和開孔分別相對。
2.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于其中所述的電渦流線圈的形狀為圓形或方形，圓形電渦流線圈的直徑為9mm-15mm，方形電渦流線圈的邊長為9mm-15mm，線粗和線間隙為150μm。
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