[發(fā)明專利]SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810195909.1 | 申請(qǐng)日: | 2008-09-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101355357A | 公開(公告)日: | 2009-01-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 薛忠杰;羅靜 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所 |
| 主分類號(hào): | H03K19/003 | 分類號(hào): | H03K19/003 |
| 代理公司: | 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 殷紅梅 |
| 地址: | 214116江蘇省無(wú)*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | soi cmos 集成電路 輸出 緩沖器 esd 保護(hù) 結(jié)構(gòu) | ||
1、一種SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征是:增強(qiáng)型P溝道MOS場(chǎng)效應(yīng)PMOS管源端通過(guò)半導(dǎo)體金屬鋁連接正電源(VDD),增強(qiáng)型N溝道MOS場(chǎng)效應(yīng)NMOS管源端通過(guò)半導(dǎo)體金屬鋁連接負(fù)電源(GND);增強(qiáng)型P溝道MOS場(chǎng)效應(yīng)PMOS管漏端與增強(qiáng)型N溝道MOS場(chǎng)效應(yīng)NMOS管漏端通過(guò)金屬鋁連接形成輸出連接端(201);正電源(VDD)通過(guò)金屬鋁連接P-型襯底柵控二極管(D1)的陰極,負(fù)電源(GND)通過(guò)金屬鋁連接N-型襯底柵控二極管(D2)的陽(yáng)極;P-型襯底柵控二極管(D1)的陽(yáng)極與N-型襯底柵控二極管(D2)的陰極通過(guò)金屬鋁連接形成另一輸出連接端(202),連接端(202)同時(shí)與輸出緩沖器的輸出壓焊點(diǎn)通過(guò)金屬鋁連接;電阻(RESD)一端通過(guò)金屬鋁與連接端(201)連接,另一端通過(guò)金屬鋁與連接端(202)連接。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征是:所述P-型襯底柵控二極管包括N+擴(kuò)散區(qū)(1)、P+擴(kuò)散區(qū)(2)、P-阱(3)、POLY柵(4)、BOX埋氧層(5)、襯底(6)及sio2隔離島(7),P-阱(3)位于N+擴(kuò)散區(qū)(1)與P+擴(kuò)散區(qū)(2)中間,BOX埋氧層(5)生長(zhǎng)于襯底(6)之上,N+擴(kuò)散區(qū)(1)、P+擴(kuò)散區(qū)(2)、P-阱(3)及sio2隔離島(7)形成在BOX埋氧層(5)之上;POLY柵(4)在P-阱(3)之上;SiO2隔離島(7)包圍P+擴(kuò)散區(qū)(2)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征是:所述N-型襯底柵控二極管包括P+擴(kuò)散區(qū)(8)、N+擴(kuò)散區(qū)(9)、N-阱(10)、POLY柵(11)、BOX埋氧層(12)、襯底(13)及sio2隔離島(14),N-阱(10)位于P+擴(kuò)散區(qū)(8)與N+擴(kuò)散區(qū)(9)中間,BOX埋氧層(12)生長(zhǎng)于襯底(13)之上,P+擴(kuò)散區(qū)(8)、N+擴(kuò)散區(qū)(9)、N-阱(10)及sio2隔離島(14)形成在BOX埋氧層(12)之上;POLY柵(11)在N-阱(10)之上;SiO2隔離島(14)包圍N+擴(kuò)散區(qū)(9)。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征是:所述電阻RESD(15)為多晶電阻或擴(kuò)散電阻。
5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的SOI/CMOS集成電路輸出緩沖器的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征是:所述電阻RESD(15)兩端分別通過(guò)接觸孔(16)與金屬鋁連線(17)連接。
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