[發明專利]用于納米壓印模具的摻雜二氧化鈦的石英玻璃有效
| 申請號： | 200810098675.9 | 申請日： | 2008-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN101333069A | 公開（公告）日： | 2008-12-31 |
| 發明（設計）人： | 每田繁;大塚久利 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | C03C3/06 | 分類號： | C03C3/06;C03C3/078;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 納米 壓印 模具 摻雜 氧化 石英玻璃 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于光和熱納米壓印光刻法工藝的、由摻雜二氧化鈦的 石英玻璃構成的、其上具有預定的細微圖形的納米壓印模具，所述摻 雜二氧化鈦的石英玻璃含有6～10％重量的二氧化鈦、具有最高為0.5％ 重量的二氧化鈦濃度分布且具有最高為500ppm的氯濃度，沒有夾雜 物，該石英玻璃在0℃至250℃之間具有-100～100ppb／℃范圍內的線 性熱膨脹系數(CTE)和25℃下最高為50ppb／℃的CTE分布。
2.按照權利要求1所述的納米壓印模具，其中摻雜二氧化鈦的 石英玻璃含有氟。
3.按照權利要求1所述的納米壓印模具，其中摻雜二氧化鈦的 石英玻璃具有最高為1200℃的假想溫度。
4.按照權利要求1所述的納米壓印模具，其中摻雜二氧化鈦的 石英玻璃具有最高為1000ppm的OH濃度。
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