[發(fā)明專(zhuān)利]具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810094965.6
• 申請(qǐng)日: 2008-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101572227A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊正安;何建立;葉公旭;黃明鴻
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東捷科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/20
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/20;H01L31/20
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周長(zhǎng)興

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明與非晶硅膜的成形技術(shù)有關(guān)，特別是指一種具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)。

背景技術(shù)

按，目前主流的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池，其制造過(guò)程中的非晶硅薄膜是為關(guān)鍵，目前普遍的制造方式，是由等離子體輔助化學(xué)氣相沉積法(Plasma-Enhance?Chemical?Vapor?Deposition，PECVD)來(lái)制造成形的。而非晶硅薄膜主要是由p-a-Si:H、i-a-Si:H、以及n-a-Si:H(即p-i-n)三層物質(zhì)所沉積而成。

目前的p-i-n薄膜，在成形技術(shù)上，主要是將待成膜料片(例如玻璃板)水平設(shè)置于一腔體內(nèi)，再將該腔體內(nèi)的溫度加熱至工作溫度，再于該腔體內(nèi)依序成形出p層、i層、及n層薄膜，完成后再向外移出該待沉積物。此種成形方式，由于三層都是在同一腔體內(nèi)成形，因此在變換沉積層的過(guò)程中，必須將該腔體內(nèi)的原氣體抽出，再注入對(duì)應(yīng)沉積層的氣體，并控制好濃度后，才能開(kāi)始下一次的氣相沉積。然而此種方式耗時(shí)太久，有很多時(shí)間浪費(fèi)在控制氣體的過(guò)程。

如欲解決上述問(wèn)題，利用多個(gè)腔室分別成形各層薄膜，以批次式的方式依次成形，應(yīng)可加快成形的時(shí)間。然而，多個(gè)腔室的批次做法，卻有溫度降低而需在腔室內(nèi)重新加熱的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，其可預(yù)先對(duì)待成膜料片進(jìn)行加熱。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，包含有：

至少一成形腔，用以在一待成膜料片上沉積一層非晶硅膜，該成形腔具有可開(kāi)啟/關(guān)閉的一密封門(mén)；

一預(yù)熱腔，內(nèi)部具有一加熱裝置，可對(duì)內(nèi)部進(jìn)行加熱，該預(yù)熱腔具有可開(kāi)啟/關(guān)閉的一密封門(mén)；

一共享真空腔，與該成形腔及該預(yù)熱腔相連，通過(guò)該些密封門(mén)的開(kāi)啟/關(guān)閉來(lái)使該成形腔及預(yù)熱腔與該共享真空腔內(nèi)部隔離/相通；

一運(yùn)輸裝置，位于該共享真空腔內(nèi)，具有一承載面，該運(yùn)輸裝置可運(yùn)動(dòng)而使該承載面分別運(yùn)動(dòng)至該成形腔以及該預(yù)熱腔的密封門(mén)前方；以及

一載料車(chē)，位于該運(yùn)輸裝置的承載面上，載運(yùn)復(fù)數(shù)的待成膜料片，該載料車(chē)可由該承載面通過(guò)各該密封門(mén)而進(jìn)入前述的該成形腔以及該預(yù)熱腔內(nèi)，或由該成形腔以及預(yù)熱腔內(nèi)移出至該承載面上。

所述的具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，其中：該加熱裝置為復(fù)數(shù)熱絲，設(shè)于該預(yù)熱腔內(nèi)的兩側(cè)壁面。

所述的具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，其中：包含有：一物料進(jìn)出門(mén)，該物料進(jìn)出門(mén)設(shè)于該共享真空腔、或該預(yù)熱腔、或該成形腔三者其中之一。

所述的具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，其中：該共享真空腔具有一加熱裝置。

換言之，依據(jù)本發(fā)明所提供的一種具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)，包含有：至少一成形腔，用以在一待成膜料片上沉積一層非晶硅膜，該成形腔具有可開(kāi)啟/關(guān)閉的一密封門(mén)；一預(yù)熱腔，內(nèi)部具有一加熱裝置，可對(duì)內(nèi)部進(jìn)行加熱，該預(yù)熱腔具有可開(kāi)啟/關(guān)閉的一密封門(mén)；一共享真空腔，與該成形腔及該預(yù)熱腔相連，通過(guò)該些密封門(mén)的開(kāi)啟/關(guān)閉來(lái)使該成形腔及預(yù)熱腔與該共享真空腔內(nèi)部隔離/相通；一運(yùn)輸裝置，位于該共享真空腔內(nèi)，具有一承載面，該運(yùn)輸裝置可運(yùn)動(dòng)而使該承載面分別運(yùn)動(dòng)至該成形腔以及該預(yù)熱腔的密封門(mén)前方；以及一載料車(chē)，位于該運(yùn)輸裝置的承載面上，載運(yùn)復(fù)數(shù)的待成膜料片，該載料車(chē)可由該承載面通過(guò)各該密封門(mén)而進(jìn)入前述的該成形腔以及該預(yù)熱腔內(nèi)，或由該成形腔以及預(yù)熱腔內(nèi)移出至該承載面上。由此，可在進(jìn)行沉積前先行預(yù)熱，進(jìn)而可加快生產(chǎn)的速度。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的示意圖。

圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的第一動(dòng)作圖。

圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的第二動(dòng)作圖。

附圖中主要組件符號(hào)說(shuō)明：

10具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)

11成形腔

111密封門(mén)

13預(yù)熱腔

131密封門(mén)

14加熱裝置

15共享真空腔

151物料進(jìn)出門(mén)

152加熱裝置

17運(yùn)輸裝置

18承載面

19載料車(chē)

21待成膜料片

具體實(shí)施方式

為了詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的構(gòu)造及特點(diǎn)所在，舉以下一較佳實(shí)施例并配合附圖說(shuō)明如后，其中：

如圖1所示，本發(fā)明一較佳實(shí)施例所提供的一種具有預(yù)熱功能的非晶硅膜成形系統(tǒng)10，主要由復(fù)數(shù)成形腔11、一預(yù)熱腔13、一共享真空腔15、一運(yùn)輸裝置17、以及一載料車(chē)19所組成，其中：