[發明專利]化學過濾網的吸附裝置的制造方法

無效

• 申請號: 200810093329.1
• 申請日: 2008-04-18
• 公開（公告）號: CN101559312A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: 鄭石治;林哲弘;陳壽忠;徐瑞珠;劉邦昱;洪守銘
• 申請（專利權）人: 華懋科技股份有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;B01D46/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 湯保平

技術領域

本發明是有關一種化學過濾網的吸附裝置的制造方法，尤指一種由上膠、貼覆濾網、加熱粘固及充填吸附劑等步驟而制成的吸附裝置，使具易于制作、可重復使用吸附裝置，以及增加吸附劑含量，進而可提升吸附及過濾效果，達到環保及降低成本的目的，而適用于各式化學過濾網結構的吸附裝置的制造。

背景技術

隨著半導體技術不斷的進步，使集成電路工藝線徑不斷的縮小，相對提高其制作環境的要求。因為，外部空氣或無塵室內中含微污染(AMC：Airborne?Molecular?Contamination)物質對于工藝良率的影響日益擴大，為了提升工藝良率，半導體廠通常需于外氣空調箱及氣流循環區加裝化學過濾網結構。

如圖7所示，是為現有的化學過濾網結構的立體外觀示意圖，其是為一具有進風口與出風口的框體，而該框體內的進風口與出風口之間是結合固定有濾網，該濾網是以二層不織布A包夾一吸附劑與熱融膠粉的混合物B形成一三明治結構，并經由加熱后，令熱融膠粉因遇熱融化而使吸附劑(如：活性碳粉等)粘合固定于二層不織布A之間，且該不織布A的外層又設有一層細網(如：鐵網)，以供固定結構用。然，現有制法，該二層不織布A內除了容置有吸附劑外，尚有熱融膠粉；故，使得該二層不織布A內可容置的吸附劑的含量降低了，進而令整體結構的吸附、過濾的效果相對打折扣。因為，受限于現有結構是采固定結合濾網的方式，而當吸附劑在吸附飽和后，有吸附劑不易更新、置換的問題，也間接提高了化學過濾網結構的耗費成本；故，實際使用上，仍有不盡理想之處。

有鑒于此，本案發明人以從事該項事業多年的經驗，并精心研究以求改進，是為本發明所欲研創的創作動機。

發明內容

本發明的主要目的，是在提供一種化學過濾網的吸附裝置的制造方法，由上膠、貼覆濾網、加熱粘固及充填吸附劑的制作步驟而制成的吸附裝置，使具易于制作，并使熱融膠粉不再占用可容置吸附劑的空間而增加了吸附劑的含量，提高吸附與過濾微污染(AMC)物質的效果，以增進整體的實用性。

本發明的次一目的，是在提供一種化學過濾網的吸附裝置的制造方法，由該吸附裝置的支撐結構上進一步設有一啟閉機構，使吸附劑可更換，令吸附裝置可重復使用，并使該取出的經過吸附飽和后的吸附劑可回收再利用，而達到環保及降低成本的目的，以增進整體的實用性、環保性及經濟性。

為達成上述目的，本發明是提供一種化學過濾網的吸附裝置的制造方法，其特征在于，其包括有下列步驟：

步驟一、上膠：在吸附裝置的支撐結構表層上涂布熱融膠；

步驟二、貼覆濾網：將至少一濾網覆蓋于吸附裝置的支撐結構的表層上，而使支撐結構內形成容置空間；

步驟三、加熱粘固：利用加熱方式使吸附裝置的支撐結構及其外側表層上的濾網相互粘合；以及

步驟四、充填吸附劑：將吸附劑填入并封設于該吸附裝置的支撐結構與其外側的濾網所形成的容置空間內。

其中該吸附裝置的支撐結構的上、下二側表層上分別上膠后，貼覆至少一濾網。

其中該上膠的方式采用人工涂布、上膠機涂布的其中任一種。

其中該加熱粘固的加熱方法采用烘烤箱加熱、電熨斗加熱、微波加熱、紅外線加熱、加熱機加熱的其中任一種。

其中該支撐結構由四個側邊框相互連接呈一框體，而其框體內設有多根肋條與多根支撐肋相互連接形成的條格狀結構，且各支撐肋的高度小于各肋條，以使該支撐結構內部形成多個貫穿通道，以利裝填吸附劑。

其中，將吸附劑封設于該吸附裝置的支撐結構與其外側的濾網所形成的容置空間內的方式是采用活動啟閉的封設的方式，該支撐結構進一步于其中一側邊上設有一開槽，以利吸附劑的裝填及取出，而該開槽對應配設一密封條，以供形成一啟閉機構，而利更換吸附劑及重復使用吸附裝置。

其中，將吸附劑封設于該吸附裝置的支撐結構與其外側的濾網所形成的容置空間內的方式是采用固定封設的方式，該固定封設的方式是采用粘合、熱融膠合、超音波結合的其中任一方式使吸附劑的充填口封死，以供將吸附劑密封固定于該支撐結構與其外側的濾網所形成的容置空間內。

其中該吸附裝置是制成薄片型，以利降低壓力損失。

其中該濾網為不織布濾網。

其中該濾網為細網。

附圖說明

本發明的其它特點及具體實施例可于以下配合附圖的詳細說明中進一步了解，其中：

圖1是為本發明的制造方法的步驟流程示意圖。

圖2是為本發明的實施例的立體外觀示意圖。