[發明專利]光刻膠組合物、其涂覆方法、形成圖案的方法及顯示器

有效

• 申請號: 200810092083.6
• 申請日: 2008-02-02
• 公開（公告）號: CN101251716A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 李永范;金京燮;李埈泳;康盛旭
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/016;G03F7/004;G03F7/16;G03F7/26
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 宋莉

技術領域

本發明涉及光刻膠組合物、其涂覆方法、用其形成有機膜圖案的方法以及由此制造的顯示器，更具體地，本發明涉及用于以改善的涂覆均勻性涂覆至大型基板上以防止出現瑕疵的光刻膠組合物、其涂覆方法、用其形成有機膜圖案的方法以及由此制造的顯示器。

背景技術

液晶顯示器(“LCD”)是當前廣泛使用的各種類型的平板顯示器之一。通過排列具有形成于其表面上的像素電極的薄膜晶體管基板和具有形成于其表面上的公共電極的濾色器基板，使得具有像素電極的薄膜晶體管基板的表面與具有公共電極的濾色器基板的表面以固定距離保持彼此相對且共平面，以及將液晶層置于薄膜晶體管基板和濾色器基板的相對的表面之間，從而配置成LCD。通過對像素電極和公共電極施加電壓以使液晶層中的液晶分子重新排列使得控制透過液晶層的光的量，從而在這樣的LCD上顯示圖象。

近來，隨著對大型LCD的需求增加，不可避免地要求用于這樣的LCD的基板尺寸的相應增大。因此需要開發適于制造大型基板的具有涂覆均勻性的新型光刻膠組合物。

本文使用的“涂覆均勻性”是指涂覆在基板上的有機膜的厚度的均勻程度。涂覆均勻性在后加工過程中對開口率、分辨率、電路線寬等有影響。由于有機膜中微小的厚度差異所導致的反射率差異，在有機膜中出現的任何缺陷也顯示在最終產品中。

此外，當制造大型LCD時，常規的光刻膠組合物涂覆方法例如輥涂、旋涂、狹縫式旋涂(slit?and?spin?coating)等不足以以所要求的涂覆均勻性將光刻膠組合物涂覆至大型基板上。特別是，不可能通過旋涂將常規的光刻膠組合物涂覆至大型基板上，因為假如在該基板尺寸下，通常使用的旋涂裝置的旋轉馬達的耐久性會不足。

因此已經提出將狹縫噴嘴涂覆裝置作為大型基板的涂覆裝置。當使用這種狹縫噴嘴涂覆裝置時，可以減少所消耗的光刻膠組合物的量，此外，與用常規的旋涂法需要清除積聚的邊緣球狀物相比，不必進行邊緣球狀物去除過程以從基板邊緣除去任何聚集的光刻膠組合物。然而，狹縫噴嘴涂覆裝置引起樹脂條紋(resin?streak)，而且還產生積云狀斑點(cumulous?stain)，這兩者都不是常規的旋涂法所產生的。

樹脂條紋可分為小條紋或大條紋或同時有大條紋和小條紋，小條紋由光刻膠組合物不均勻地滲透到基板中、或者由在基板上的起點處發生的從狹縫噴嘴排出不均勻量的光刻膠組合物、或者由此兩者所引起；大條紋沿著涂覆方向圍繞中心線產生。

積云狀斑點可能在基板的一部分上或者在基板的整個面積上產生，其主要由涂覆厚度的不均勻性所導致。

條紋和/或斑點的存在增加整個工藝的缺陷率并且降低最終產品的質量。因此，期望適于涂覆大型基板并且同時滿足高的透光率和感光度的工藝要求的光刻膠組合物。然而，常規的基于聚丙烯酸酯的樹脂材料對于高的透射率和感光度之一或兩者有局限性。因此，需要能夠替代常規的基于聚丙烯酸酯的樹脂的新穎光刻膠組合物。

發明內容

因此，考慮到現有技術的局限性，本發明提供：用于涂覆至大型基板上的光刻膠組合物，該光刻膠組合物具有改善的涂覆均勻性，其防止瑕疵例如樹脂條紋和積云狀斑點的出現，并且當使用非旋涂(spinless?coating)法時，其提高光刻膠組合物在基板表面上的涂覆速率，并且由此提高由其制備的最終產品的質量；該光刻膠組合物的涂覆方法；用該光刻膠組合物形成有機膜圖案的方法；以及用該光刻膠組合物制造的顯示器。

根據一種實施方案，光刻膠組合物包含具有加入的聚硅氧烷樹脂的聚合物樹脂、光敏化合物和有機溶劑。

在一種實施方案中，所述聚合物樹脂具有500-20000的重均分子量(Mw)，以及該聚合物樹脂的含量為所述光刻膠組合物的10-30重量％。

在一種實施方案中，所述光刻膠組合物具有1-25厘泊(“cps”)的粘度。

在一種實施方案中，所述聚硅氧烷樹脂具有以下化學式1：

[化學式1]