[發(fā)明專(zhuān)利]探針電阻測(cè)量方法和具有用于探針電阻測(cè)量的焊盤(pán)的半導(dǎo)體裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810091160.6
• 申請(qǐng)日: 2008-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101281218A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 道又重臣;柳澤正之;黑柳一誠(chéng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 恩益禧電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R27/02
• 分類(lèi)號(hào): G01R27/02;G01R1/073
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陸錦華;郇春艷

1.一種探針電阻測(cè)量方法，包括：

基于第一對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)將探針單元的多個(gè)探針的至少部分探針與三個(gè)或更多個(gè)用于電阻測(cè)量的焊盤(pán)接觸，測(cè)量三個(gè)或更多節(jié)點(diǎn)處的第一電阻；

存儲(chǔ)測(cè)量的第一電阻作為第一測(cè)量結(jié)果；以及

基于所述第一測(cè)量結(jié)果，計(jì)算所述探針單元的所述多個(gè)探針的接觸電阻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針電阻測(cè)量方法，其中所述計(jì)算接觸電阻包括：

產(chǎn)生第一方程組，其中所述測(cè)量的第一電阻由所述多個(gè)探針與所述三個(gè)或更多節(jié)點(diǎn)之間的接觸電阻和所述節(jié)點(diǎn)之間的電阻的總和表示；以及

通過(guò)關(guān)于接觸電阻求解第一方程組，計(jì)算所述多個(gè)探針和所述節(jié)點(diǎn)之間的接觸電阻。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針電阻測(cè)量方法，其中所述節(jié)點(diǎn)的相鄰兩個(gè)節(jié)點(diǎn)之間的電阻是恒定的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針電阻測(cè)量方法，其中所述節(jié)點(diǎn)的數(shù)目是4個(gè)或更多。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的探針電阻測(cè)量方法，還包括：

基于第二對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)使所述探針單元的所述多個(gè)探針的至少部分探針與三個(gè)或更多個(gè)用于電阻測(cè)量的所述焊盤(pán)接觸，測(cè)量所述三個(gè)或更多節(jié)點(diǎn)處的第二電阻；

存儲(chǔ)測(cè)量的第二電阻作為第二測(cè)量結(jié)果；以及

基于所述第二測(cè)量結(jié)果，計(jì)算所述探針單元的所述多個(gè)探針的接觸電阻。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針電阻測(cè)量方法，其中通過(guò)旋轉(zhuǎn)其上設(shè)置了用于電阻測(cè)量的所述焊盤(pán)的襯底，切換所述第一對(duì)應(yīng)關(guān)系和所述第二對(duì)應(yīng)關(guān)系。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針電阻測(cè)量方法，其中所述計(jì)算接觸電阻包括：

產(chǎn)生第二方程組，其中所述測(cè)量的第二電阻由所述多個(gè)探針與所述三個(gè)或更多節(jié)點(diǎn)之間的接觸電阻和所述節(jié)點(diǎn)之間的電阻的總和表示；以及

通過(guò)對(duì)于接觸電阻求解第二方程組，計(jì)算所述多個(gè)探針和所述節(jié)點(diǎn)之間的接觸電阻。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的探針電阻測(cè)量方法，還包括：

基于第三對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)使所述探針單元的所述多個(gè)探針的至少部分探針與襯底的半導(dǎo)體區(qū)接觸，測(cè)量所述三個(gè)或更多節(jié)點(diǎn)處的第三電阻；

存儲(chǔ)測(cè)量的第三電阻作為第三測(cè)量結(jié)果；以及

基于所述第三測(cè)量結(jié)果，計(jì)算所述探針單元的所述多個(gè)探針的接觸電阻。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針電阻測(cè)量方法，其中所述節(jié)點(diǎn)的數(shù)目是三個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的探針電阻測(cè)量方法，其中設(shè)置可通過(guò)所述襯底上設(shè)置的所述焊盤(pán)訪問(wèn)的半導(dǎo)體電路，以及

在相同線上混和地設(shè)置用于電阻測(cè)量的焊盤(pán)和所述用于裝置的焊盤(pán)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的探針電阻測(cè)量方法，其中與設(shè)置了電連接到半導(dǎo)體電路的電路的區(qū)域相比，在襯底的外圍部分上設(shè)置了用于電阻測(cè)量的焊盤(pán)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的探針電阻測(cè)量方法，其中在其上設(shè)置了用于電阻測(cè)量的焊盤(pán)的半導(dǎo)體襯底上形成的導(dǎo)電膜覆蓋有絕緣膜，

用于電阻測(cè)量的焊盤(pán)是通過(guò)絕緣膜的窗口露出導(dǎo)電膜的區(qū)域。

13.一種具有用于探針電阻測(cè)量的焊盤(pán)的半導(dǎo)體裝置，包括：

與半導(dǎo)體襯底上形成的半導(dǎo)體電路電隔離的三個(gè)或更多焊盤(pán)；以及

在所述焊盤(pán)之間提供串聯(lián)連接并具有相同電阻的布線。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置，其中焊盤(pán)的數(shù)目是三個(gè)。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述三個(gè)或更多焊盤(pán)之一與所述襯底的半導(dǎo)體區(qū)域連接。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置，其中焊盤(pán)的數(shù)目是三個(gè)。

17.根據(jù)權(quán)利要求13至16的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，還包括：

用于與所述半導(dǎo)體電路連接的裝置的焊盤(pán)，

其中在同一條線上布置所述三個(gè)或更多焊盤(pán)和用于裝置的所述焊盤(pán)。

18.根據(jù)權(quán)利要求13至16的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中與設(shè)置所述半導(dǎo)體電路的區(qū)域相比，所述三個(gè)或更多焊盤(pán)被設(shè)置在所述襯底的外圍部分上。