[發(fā)明專利]用于平板顯示器薄膜沉積的掩模框架組件和使用該組件的沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810089856.5
• 申請日: 2008-04-03
• 公開（公告）號: CN101280411A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金善浩;魯碩原
• 申請（專利權(quán)）人: 三星SDI株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 陸弋;朱登河

1、一種用于平板顯示器的膜沉積的掩模框架組件，包括：

圖樣掩模，其設(shè)置有包括多個開口的圖樣部分；

第一框架，其與所述圖樣掩模的下邊緣部分連接以支撐所述圖樣掩模；和

第二框架，其沿水平或豎直方向與所述第一框架連接。

2、根據(jù)權(quán)利要求1的掩模框架組件，其中，所述圖樣掩模由SUS或因瓦材料形成。

3、根據(jù)權(quán)利要求1的掩模框架組件，其中，所述第一框架由SUS或因瓦材料形成。

4、根據(jù)權(quán)利要求1的掩模框架組件，其中，所述第二框架由比質(zhì)量小于SUS或因瓦材料的質(zhì)量的金屬和合金之一形成。

5、根據(jù)權(quán)利要求4的掩模框架組件，其中，所述具有小的比質(zhì)量的金屬或合金包括從鋁、鎂、鈦以及它們的合金中選出的一種。

6、根據(jù)權(quán)利要求1的掩模框架組件，其中，所述圖樣掩模由與所述第一框架相同的材料形成，并通過焊接與所述第一框架連接。

7、根據(jù)權(quán)利要求1的掩模框架組件，其中，所述第一框架由不同于所述第二框架的材料形成，并通過一連接元件與所述第二框架連接。

8、根據(jù)權(quán)利要求7的掩模框架組件，其中，所述連接元件形成在所述第一框架中并與所述第二框架連接。

9、根據(jù)權(quán)利要求7的掩模框架組件，其中，所述連接元件形成在所述第二框架中并與所述第一框架連接。

10、一種沉積設(shè)備，包括：

沉積腔；

如權(quán)利要求1-9中任一權(quán)利要求所述的掩模框架組件，其設(shè)置在所述沉積腔中；和

朝向所述圖樣掩模的沉積源。