[發(fā)明專利]制造光學(xué)器件的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810089238.0
• 申請(qǐng)日: 2008-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN101295072A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林秀;根岸徹;織田卓哉;坂口秀明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新光電氣工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;H01L23/02
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 陳源;張?zhí)焓?/td>

本申請(qǐng)基于2007年4月26日所提交的日本專利申請(qǐng)第2007-117213號(hào)，并且要求其優(yōu)先權(quán)，在此，通過引用將其全部內(nèi)容并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開文獻(xiàn)涉及一種光學(xué)器件，更具體地，本公開文獻(xiàn)涉及一種在投影儀、光學(xué)開關(guān)、條形碼讀出器、復(fù)印機(jī)等中使用的光學(xué)器件。

背景技術(shù)

圖1中所示的光學(xué)器件100被內(nèi)置于諸如投影儀、光學(xué)開關(guān)、條形碼讀出器、復(fù)印機(jī)等的裝置中。

圖1是相關(guān)技術(shù)中的光學(xué)器件的截面圖。在圖1中，J表示從光源111發(fā)出的光的傳播方向，K表示被反射鏡114反射的光的傳播方向。

參考圖1，相關(guān)技術(shù)中的光學(xué)器件100具有框架101、半透明構(gòu)件102、遮光構(gòu)件103、抗反射(AR)涂層104和105、反射鏡元件108、以及氣密構(gòu)件109。

框架101具有用于裝配半透明構(gòu)件102的裝配部分112。裝配部分112被形成為穿過框架101。提供框架101來支撐半透明構(gòu)件102。

將半透明構(gòu)件102裝配進(jìn)框架101的裝配部分112。半透明構(gòu)件102被布置成與提供給反射鏡元件108的多個(gè)反射鏡114相對(duì)。半透明構(gòu)件102使從光源111發(fā)出的光透射，并且將由多個(gè)反射鏡114反射的光發(fā)射至光學(xué)器件100的外部。

遮光構(gòu)件103被形成為從半透明構(gòu)件102的下表面102B延伸至框架101的下表面101B。將遮光構(gòu)件103形成為相框形狀，遮光構(gòu)件103具有開口116。對(duì)開口116進(jìn)行布置，從而使得通過半透明構(gòu)件102所透射的光穿過開口到達(dá)多個(gè)反射鏡114。將開口116形成為使得其寬度從半透明構(gòu)件102的下表面102B向外延伸。與開口116的側(cè)表面對(duì)應(yīng)的遮光構(gòu)件103的一部分被成形為傾斜表面117。與傾斜表面117對(duì)應(yīng)的遮光構(gòu)件103的一部分防止了從光源111發(fā)出的光經(jīng)由遮光構(gòu)件103到達(dá)反射鏡114。將遮光構(gòu)件103的傾斜表面117相對(duì)于遮光構(gòu)件103的表面103A(遮光構(gòu)件103上與半透明構(gòu)件102的下表面102B接觸的表面)的傾斜角θ_x設(shè)置為給定角度(例如，30度)。當(dāng)此傾斜角θ_x與給定角度不同時(shí)，由多個(gè)反射鏡114反射的光(投影光)形成的圖像的投影畫面是模糊的。因此，形成開口116，從而將傾斜角θ_x設(shè)置為給定角度，這是非常重要。

提供遮光構(gòu)件103，從而限制了被多個(gè)反射鏡114反射的光的反射區(qū)域，并且還將從光源111發(fā)出的光直接提供至多個(gè)反射鏡114上。換句話說，遮光構(gòu)件103可作為由多個(gè)反射鏡114所反射的光(投影光)形成的圖像的投影畫面，并且防止了在由多個(gè)反射鏡114反射的光(投影光)中產(chǎn)生噪聲(光散射)。

對(duì)于遮光構(gòu)件103，例如，可以采用通過依次布置Cr層、Cr_xO_y層和Cr層而形成的Cr/Cr_xO_y/Cr多層薄膜。例如，可以將Cr/Cr_xO_y/Cr多層薄膜的厚度設(shè)置為170μm。

涂敷AR涂層104，以覆蓋半透明構(gòu)件102的上表面102A。涂敷AR層104，以防止半透明構(gòu)件102的上表面102A反射從光源111發(fā)出的光。

涂敷AR涂層105，以覆蓋半透明構(gòu)件102的下表面102B從開口116暴露出來的一部分和遮光構(gòu)件103。涂敷AR涂層105，以防止這種情形：半透明構(gòu)件102的下表面102B反射被多個(gè)反射鏡114反射的光。

反射鏡元件108經(jīng)由AR涂層105固定至框架101。反射鏡元件108具有多個(gè)反射鏡114。反射鏡114用于將從光源111發(fā)出的光經(jīng)由半透明構(gòu)件102和AR涂層104、105反射到光學(xué)器件100的外部。在反射鏡元件108和AR涂層105對(duì)應(yīng)于形成開116的區(qū)域的部分之間形成間隔L。間隔L使多個(gè)反射鏡114能夠移動(dòng)，而不會(huì)與AR涂層105接觸。布置在AR涂層105和反射鏡元件108之間的氣密構(gòu)件109以氣密方式將間隔L密封起來。

圖2至圖8是示出制造相關(guān)技術(shù)的光學(xué)器件的步驟的視圖。在圖2至圖8中，相同標(biāo)號(hào)被附加給與圖1所示的相關(guān)技術(shù)的光學(xué)器件100的組成部分相同的組成部分。

以下，參考圖2至圖8，將描述制造相關(guān)技術(shù)的光學(xué)器件100的方法。首先，在圖2所示的步驟中，把半透明構(gòu)件102插入框架101的裝配部分112，于是，此半透明構(gòu)件102被放至框架101。