[發(fā)明專利]涂布裝置及涂布方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810087497.X
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101274313A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 森俊裕;中澤源伸
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/02;B05C13/02;B05D1/26;C03C17/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 陳建全

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在基板上涂布涂布液的涂布裝置及其涂布方法。

背景技術(shù)

在液晶顯示器和等離子顯示器等平板顯示器中，使用在玻璃基板上涂布有抗蝕液的基板(稱為涂布基板)。該涂布基板是通過均勻地涂布抗蝕液的涂布裝置而形成的。

即，涂布裝置具有載置玻璃基板的載物臺、噴出抗蝕液的管頭、以及將該管頭支承在載物臺上并使其沿著載物臺移動的門型支承架，通過在使抗蝕液從管頭的細(xì)縫噴管噴出的同時，使支承架沿著玻璃基板的方向移動，從而能夠形成形成了規(guī)定厚度的抗蝕液膜的涂布基板。而且，通過這樣的涂布裝置形成涂布基板后，對涂布膜進(jìn)行檢查，檢測有無涂布不均勻。具體來說，通過涂布裝置生產(chǎn)了規(guī)定張數(shù)的涂布基板后，在與涂布工序不同的其它涂布膜檢查工序中進(jìn)行涂布基板的檢查。

這樣的涂布裝置的支承架的構(gòu)成為，在載置載物臺的基臺上設(shè)置有向一個方向延伸的石材制軌道，并能夠沿著該軌道移動。近年來，伴隨著平板顯示器的大型化，必須生產(chǎn)大型的涂布基板，不得不進(jìn)行載物臺的大型化及軌道的長尺寸化。但是，當(dāng)軌道被長尺寸化時，伴隨石材制軌道的長尺寸化，不可避免會產(chǎn)生加工極限和涂布裝置的運(yùn)送上的問題，因此在下述專利文獻(xiàn)1中，公開有通過連接多個軌道部件構(gòu)成軌道的涂布裝置。

專利文獻(xiàn)1??日本特開2006-95665號公報

如上述專利文獻(xiàn)1中所示，在通過連接軌道部件構(gòu)成軌道的情況下，支承架在通過軌道的接縫處，即軌道的不連續(xù)面(分割部分)時支承架發(fā)生變動，受其影響，存在發(fā)生涂布不均勻并容易生產(chǎn)出不良基板的問題。但是，一旦不良基板被生產(chǎn)出來，在該情況下，直到由后續(xù)工序的涂布膜檢測工序檢測出不良基板的這段期間，涂布是在同樣條件下進(jìn)行的。即，在發(fā)生涂布不均勻的條件下，由于就這樣保持原狀地持續(xù)生產(chǎn)規(guī)定張數(shù)的涂布基板，所以存在不良基板被大量地生產(chǎn)出來的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題點(diǎn)而作出的，其目的是提供一種即使在引導(dǎo)支承架行走的軌道被分割的情況下，也能夠防止大量地生產(chǎn)不良基板，并能夠提高涂布基板的合格率的涂布裝置。

為了解決上述課題，本發(fā)明的涂布裝置具有：配設(shè)有保持基板的載物臺的基臺、在上述基臺上以向特定方向延伸的狀態(tài)設(shè)置并被分隔為多個的軌道、以及沿著上述軌道相對于上述基板相對地行走并且向上述基板涂布涂布液的涂布單元，其特征在于，設(shè)置檢測上述涂布單元的動作變動的變動檢測機(jī)構(gòu)，根據(jù)該變動檢測機(jī)構(gòu)的檢測結(jié)果來判斷基板上的涂布液的涂布狀態(tài)。

根據(jù)上述涂布裝置，因?yàn)樵O(shè)置了檢測向基板上涂布涂布液的涂布單元的動作變動的變動檢測機(jī)構(gòu)，所以通過監(jiān)視該變動檢測機(jī)構(gòu)的檢測結(jié)果能夠判斷是否生產(chǎn)了不良涂布基板。即，在涂布單元通過了軌道的連接部分的情況下，因?yàn)橥坎紗卧膭幼鳟a(chǎn)生錯亂，所以根據(jù)檢測出該動作的錯亂能夠判斷是否發(fā)生了涂布不均勻。因此，即使在軌道被分割的情況下，因?yàn)槟軌驒z測出涂布動作中涂布不均勻的發(fā)生，所以與以往那樣在生產(chǎn)了規(guī)定張數(shù)的涂布基板后、通過其它工序的涂布膜檢查工序來檢測出涂布不均勻的情況相比，能夠避免大量地生產(chǎn)不良基板的問題，并提高合格率。

作為在上述涂布狀態(tài)的判斷中的具體方式，上述涂布裝置還進(jìn)一步具有控制裝置，該控制裝置能夠構(gòu)成為：根據(jù)上述變動檢測機(jī)構(gòu)的檢測結(jié)果來判斷基板上的涂布狀態(tài)是否良好，在判斷為涂布狀態(tài)不適當(dāng)?shù)那闆r下，使上述涂布單元停止。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，涂布單元在做出會產(chǎn)生不良基板的涂布不均勻的動作的情況下，能夠使涂布單元的動作自動停止。因此，能夠防止大量地生產(chǎn)不良基板。

另外，作為上述變動檢測機(jī)構(gòu)的具體方式，也可以為下述構(gòu)造：上述變動檢測機(jī)構(gòu)為檢測上述涂布單元的行走速度的速度檢測機(jī)構(gòu)，根據(jù)由該速度檢測機(jī)構(gòu)檢測出的涂布單元的行走速度的變化來判斷涂布狀態(tài)是否良好。

根據(jù)該構(gòu)造，通過上述速度檢測機(jī)構(gòu)，通過檢測涂布單元通過軌道的分割部分時的行走速度的的變化，能夠檢測出涂布不均勻的發(fā)生。因此，不用設(shè)置用于檢測涂布不均勻的復(fù)雜的裝置，能夠使用現(xiàn)有的涂布裝置上的已有設(shè)備來檢測涂布不均勻的發(fā)生。

另外，作為上述變動檢測機(jī)構(gòu)的其它的具體方式，也可以使用下述構(gòu)造：在上述涂布單元中具有通過向軌道表面供給空氣而使涂布單元從軌道浮起的軸承部，在向該軸承部供給空氣的管路中，設(shè)置檢測管路內(nèi)的空氣壓力變化的壓力檢測機(jī)構(gòu)，上述變動檢測機(jī)構(gòu)包含該壓力檢測機(jī)構(gòu)，通過該壓力檢測機(jī)構(gòu)，根據(jù)所檢測出的涂布單元的壓力變化來判斷涂布狀態(tài)是否良好。