[發明專利]放射線敏感性樹脂組合物、液晶顯示元件用間隔體及其制造方法有效
| 申請號: | 200810086878.6 | 申請日: | 2008-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN101271270A | 公開(公告)日: | 2008-09-24 |
| 發明(設計)人: | 一戶大吾;杉龍司 | 申請(專利權)人: | JSR株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/028 | 分類號: | G03F7/028;G03F7/004;G02F1/1339;G03F7/00 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 熊玉蘭;李平英 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 放射線 敏感性 樹脂 組合 液晶顯示 元件 間隔 及其 制造 方法 | ||
1.一種放射線敏感性樹脂組合物,其特征在于,含有:
[A1]使選自(a1)不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少1種和(a2)在1個分子中含有至少1個羥基的不飽和化合物的共聚物與下式(1)所示的含有異氰酸酯基的不飽和化合物反應得到的聚合物,以及
[A2]選自(a1)不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少1種和(a3)具有環氧乙烷基或氧雜環丁基的不飽和化合物的共聚物,
式中,R1為氫原子或甲基、n為1~12的整數。
2.權利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物,其中,所述(a2)成分為下式(2)所示的不飽和化合物,
式中,R2為氫原子或甲基、1為1~12的整數、m為1~6的整數。
3.權利要求1或2所述的放射線敏感性樹脂組合物,其中,進一步含有[B]聚合性不飽和化合物和[C]放射線敏感性聚合引發劑。
4.權利要求1~3任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物,其用于形成液晶顯示元件用間隔體。
5.一種液晶顯示元件用間隔體,其由權利要求1~3任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物形成。
6.一種液晶顯示元件用間隔體的形成方法,其特征在于,以下述順序包含至少下述步驟:
(1)在基板上形成權利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物的被膜的步驟、
(2)對該被膜的至少一部分進行曝光的步驟、
(3)將曝光后的該被膜顯影的步驟、和
(4)將顯影后的該被膜加熱的步驟。
7.一種液晶顯示元件,其具有權利要求5所述的間隔體。
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