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[發明專利]放射線敏感性樹脂組合物、液晶顯示元件用間隔體及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200810086878.6 申請日: 2008-03-20
公開(公告)號: CN101271270A 公開(公告)日: 2008-09-24
發明(設計)人: 一戶大吾;杉龍司 申請(專利權)人: JSR株式會社
主分類號: G03F7/028 分類號: G03F7/028;G03F7/004;G02F1/1339;G03F7/00
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 代理人: 熊玉蘭;李平英
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 放射線 敏感性 樹脂 組合 液晶顯示 元件 間隔 及其 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種放射線敏感性樹脂組合物,其特征在于,含有:

[A1]使選自(a1)不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少1種和(a2)在1個分子中含有至少1個羥基的不飽和化合物的共聚物與下式(1)所示的含有異氰酸酯基的不飽和化合物反應得到的聚合物,以及

[A2]選自(a1)不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少1種和(a3)具有環氧乙烷基或氧雜環丁基的不飽和化合物的共聚物,

式中,R1為氫原子或甲基、n為1~12的整數。

2.權利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物,其中,所述(a2)成分為下式(2)所示的不飽和化合物,

式中,R2為氫原子或甲基、1為1~12的整數、m為1~6的整數。

3.權利要求1或2所述的放射線敏感性樹脂組合物,其中,進一步含有[B]聚合性不飽和化合物和[C]放射線敏感性聚合引發劑。

4.權利要求1~3任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物,其用于形成液晶顯示元件用間隔體。

5.一種液晶顯示元件用間隔體,其由權利要求1~3任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物形成。

6.一種液晶顯示元件用間隔體的形成方法,其特征在于,以下述順序包含至少下述步驟:

(1)在基板上形成權利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物的被膜的步驟、

(2)對該被膜的至少一部分進行曝光的步驟、

(3)將曝光后的該被膜顯影的步驟、和

(4)將顯影后的該被膜加熱的步驟。

7.一種液晶顯示元件,其具有權利要求5所述的間隔體。

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