[發明專利]渦輪分子泵及其堆積物附著抑制方法、基板處理裝置

有效

• 申請號: 200810086397.5
• 申請日: 2008-03-31
• 公開（公告）號: CN101275574A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 山涌純;守屋剛
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/40;H01L21/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.一種渦輪分子泵，用于從對基板實施處理的處理室排出堆積物附著要因氣體，其包括：

具有沿著排氣流的旋轉軸的旋轉體；收容該旋轉體的筒狀體；從該旋轉體相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的旋轉翼；以及從所述筒狀體中的與所述旋轉體的相對面相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的靜止翼，所述多個旋轉翼被分割成多個旋轉翼組，并且所述多個靜止翼被分割成多個靜止翼組，各個所述旋轉翼組以及各個所述靜止翼組沿著所述旋轉軸交互地配置，其特征在于：

該渦輪分子泵具有氣體供給口，該氣體供給口相對于所述排氣流在位于最下游側的所述旋轉翼組的更上游側開口，該氣體供給口用于供給含有分子量大的氣體分子的堆積物附著抑制氣體。

2.如權利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述分子量在氬的原子量以上。

3.如權利要求1或2所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述堆積物附著抑制氣體被加熱至高溫。

4.如權利要求1或2所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述氣體供給口除供給所述堆積物附著抑制氣體之外還供給清潔氣體。

5.如權利要求4所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述清潔氣體由選自臭氧、氨氣和三氟化氯中的至少一種構成。

6.一種渦輪分子泵，用于從對基板實施處理的處理室排出堆積物附著要因氣體，其包括：

具有沿著排氣流的旋轉軸的旋轉體；收容該旋轉體的筒狀體；從該旋轉體相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的旋轉翼；以及從所述筒狀體中的與所述旋轉體的相對面相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的靜止翼，所述多個旋轉翼被分割成多個旋轉翼組，并且所述多個靜止翼被分割成多個靜止翼組，各個所述旋轉翼組以及各個所述靜止翼組沿著所述旋轉軸交互地配置，其特征在于：

該渦輪分子泵具有氣體供給口，該氣體供給口相對于所述排氣流在所述多個旋轉翼組的更下游側與排氣管連通，并且相對于所述排氣流在位于最下游側的所述旋轉翼組以及所述排氣管之間開口，該氣體供給口用于供給高溫氣體。

7.一種基板處理裝置，具有對基板實施處理的處理室以及用于從該處理室排出堆積物附著要因氣體的渦輪分子泵，該基板處理裝置的特征在于：

所述渦輪分子泵包括：具有沿著排氣流的旋轉軸的旋轉體；收容該旋轉體的筒狀體；從該旋轉體相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的旋轉翼；以及從所述筒狀體中的與所述旋轉體的相對面相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的靜止翼，所述多個旋轉翼被分割成多個旋轉翼組，并且所述多個靜止翼被分割成多個靜止翼組，各個所述旋轉翼組以及各個所述靜止翼組沿著所述旋轉軸交互地配置，

所述渦輪分子泵還具有氣體供給口，該氣體供給口相對于所述排氣流在位于最下游側的所述旋轉翼組的更上游側開口，該氣體供給口用于供給含有分子量大的氣體分子的堆積物附著抑制氣體。

8.一種基板處理裝置，具有對基板實施處理的處理室以及用于從該處理室排出堆積物附著要因氣體的渦輪分子泵，該基板處理裝置的特征在于：

所述渦輪分子泵包括：具有沿著排氣流的旋轉軸的旋轉體；收容該旋轉體的筒狀體；從該旋轉體相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的旋轉翼；以及從所述筒狀體中的與所述旋轉體的相對面相對于所述旋轉軸垂直地突出的多個板狀的靜止翼，所述多個旋轉翼被分割成多個旋轉翼組，并且所述多個靜止翼被分割成多個靜止翼組，各個所述旋轉翼組以及各個所述靜止翼組沿著所述旋轉軸交互地配置，

該渦輪分子泵還具有氣體供給口，該氣體供給口相對于所述排氣流在所述多個旋轉翼組的更下游側與排氣管連通，并且相對于所述排氣流在位于最下游側的所述旋轉翼組以及所述排氣管之間開口，該氣體供給口用于供給高溫氣體。