[發明專利]金屬波導及其制造方法、光傳輸模塊和熱輔助磁記錄頭

無效

• 申請號: 200810085435.5
• 申請日: 2008-03-17
• 公開（公告）號: CN101271174A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 趙恩亨;左圣熏;孫鎮昇;徐成東
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10;G11B5/127;G11B5/02;G11B5/31
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭鴻禧;劉奕晴

1、一種包括金屬體的金屬波導，該金屬體由導電金屬形成并且包括孔，所述孔的輸入端和輸出端穿過所述金屬體而形成，其中，所述孔包括：

彎曲部分，用于改變所述輸入端和輸出端之間的光傳播方向；

錐形部分，位于所述彎曲部分和所述輸出端之間，

其中，所述錐形部分的寬度朝著所述輸出端逐漸減小，并且所述孔通過形成在所述金屬體的內表面上的脊而形成為C形。

2、如權利要求1所述的金屬波導，其中，當金屬波導的厚度被定義在光傳播的方向上時，金屬波導從所述孔的彎曲部分至所述孔的錐形部分的厚度t_out大于金屬波導從所述輸入端至彎曲前部分的厚度t_in。

3、如權利要求2所述的金屬波導，其中，確定厚度t_in，以使得針對從所述輸入端至彎曲前部分的金屬波導的部分，通過厚度諧振分析，入射光束的頻率與厚度諧振頻率一致。

4、如權利要求3所述的金屬波導，其中，厚度t_in滿足等式：

t_in＝0.25λ±Δt_res，α

其中，λ是光的波長，Δt_res，α是與前散射和諧振有關的厚度偏差。

5、如權利要求3所述的金屬波導，其中，確定金屬波導在錐形部分處的厚度t_tp，以使得針對金屬波導的錐形部分，通過厚度諧振分析，入射光束的頻率與厚度諧振頻率一致。

6、如權利要求5所述的金屬波導，其中，厚度t_tp滿足等式：

t_tp＝0.25λ±Δt_res，γ

其中，λ是光的波長，Δt_res，γ是與后散射和諧振有關的厚度偏差。

7、如權利要求5所述的金屬波導，其中，確定厚度t_out，以使得在厚度t_in和厚度t_tp固定的狀態下，針對整個金屬波導，通過厚度諧振分析，入射光束的頻率與厚度諧振頻率一致。

8、如權利要求7所述的金屬波導，其中，厚度t_out滿足等式：

t_out＝0.5λ±Δt_res，β

其中，λ是光的波長，Δt_res，β是與所述孔的彎曲部分處的散射和諧振有關的厚度偏差。

9、如權利要求1所述的金屬波導，其中，所述金屬體以及穿過金屬體而形成的孔各具有寬度和小于其寬度的高度。

10、如權利要求1所述的金屬波導，其中，所述孔填充有空氣或電介質。

11、如權利要求1所述的金屬波導，其中，所述脊的寬度和高度保持均勻。

12、一種制造如權利要求1所述的金屬波導的方法，該方法包括：

在基底上形成金屬層；

通過對一部分金屬層進行蝕刻來形成彎曲形狀的脊，以使得所述脊具有預定寬度和高度；

在所述脊和剩余金屬層上沉積紫外線固化樹脂；

通過對紫外線固化樹脂進行部分硬化，形成圍繞所述脊的彎曲的孔，所述孔在端部處具有寬度逐漸減小的錐形結構；

去除紫外線固化樹脂的未硬化部分；

形成圍繞所述孔的另一金屬層。

13、一種光傳輸模塊，包括：

第一金屬波導，由導電金屬體形成，并且在所述第一金屬波導中設置有孔；

第二波導，將來自光源的光傳輸到第一金屬波導，

其中，所述孔包括：

彎曲部分，用于改變輸入端和輸出端之間的光傳播方向；

錐形部分，位于所述彎曲部分和所述輸出端之間，

其中，所述錐形部分的寬度朝著所述輸出端逐漸減小，并且所述孔通過形成在第一金屬波導的內表面上的脊而形成為C形。

14、如權利要求13所述的光傳輸模塊，其中，當第一金屬波導的厚度被定義在光傳播的方向上時，第一金屬波導從所述孔的彎曲部分至所述孔的錐形部分的厚度t_out大于第一金屬波導從所述輸入端至彎曲前部分的厚度t_in。