[發(fā)明專利]具有在外圍區(qū)域的大微透鏡的圖像傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810082348.4
• 申請(qǐng)日: 2003-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN101399277A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本克己
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華微半導(dǎo)體（上海）有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 高 青

1.一種圖像傳感器，其中包括：

形成在一個(gè)半導(dǎo)體基片中的多個(gè)像素，每個(gè)像素包括一個(gè)光敏元件，所述像素被分組為像素的中央部分和像素的外側(cè)部分；

第一組微透鏡，其形成在所述像素的所述中央部分中的每個(gè)所述像素之上，所述第一組微透鏡具有相同的高度；以及

第二組微透鏡，其形成在所述像素的所述外側(cè)部分中的每個(gè)像素之上，所述第二組微透鏡具有相同的高度，

其中所述第二組微透鏡的高度不同于所述第一組微透鏡的高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中進(jìn)一步包括形成在每個(gè)像素之上的濾色層，所述濾色層形成在所述微透鏡和所述光敏元件之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中進(jìn)一步包括形成在每個(gè)像素之上的濾色層，所述濾色層形成在所述微透鏡之上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中第二組微透鏡比所述第一組微透鏡更高。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中第二組微透鏡比所述第一組微透鏡更大。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中所述微透鏡由聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚甲基丙烯酸甘油酯(PGMA)所形成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中進(jìn)一步包括連接到所述圖像傳感器的成像透鏡。

8.一種用于形成圖像傳感器的方法，其中包括：

在一個(gè)半導(dǎo)體基片中形成多個(gè)像素，每個(gè)像素包括一個(gè)光敏元件，所述像素被分組為像素的中央部分和像素的外側(cè)部分；

在所述像素的所述中央部分中的每個(gè)所述像素之上形成第一組微透鏡，所述第一組微透鏡具有相同的高度；以及

在所述像素的所述外側(cè)部分中的每個(gè)所述像素之上形成第二組微透鏡，所述第二組微透鏡具有相同的高度，

其中所述第二組微透鏡的高度不同于所述第一組微透鏡的高度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中進(jìn)一步包括在每個(gè)像素之上形成濾色層，所述濾色層形成在所述微透鏡和所述光敏元件之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中進(jìn)一步包括在每個(gè)像素之上形成濾色層，所述濾色層形成在所述微透鏡之上。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中第二組微透鏡比所述第一組微透鏡更高。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中第二組微透鏡比所述第一組微透鏡更大。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述微透鏡由聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚甲基丙烯酸甘油酯(PGMA)所形成。

14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中進(jìn)一步包括把成像透鏡連接到所述圖像傳感器。