[發明專利]硬質疊層被膜

有效

• 申請號: 200810081818.5
• 申請日: 2005-01-25
• 公開（公告）號: CN101254673A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 山本兼司;久次米進;高原一樹;藤井博文
• 申請（專利權）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: B32B33/00
• 分類號: B32B33/00;B32B9/00;C23C30/00;C23C14/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 汪惠民

1.一種硬質疊層被膜，其特征是：

交替疊層由特定組成構成的層A和層B，層A的晶體結構和層B的晶體結構不相同，每層的層A的厚度是每層的層B的厚度的2倍以上，每層的層B的厚度在0.5nm以上，每層的層A的厚度在200nm以下，

其中，

所述層A由：

式1：(Ti_1-x-yAl_xM_y)(B_aC_bN_1-a-b-cO_c)的組成構成，但是，x、y、a、b、c分別表示原子比，0.4≤x≤0.8、0≤y≤0.6、0≤a≤0.15、0≤b≤0.3、0≤c≤0.1、M為從元素周期表中的4A族、5A族、6A族中的金屬元素、及Si中選擇的一種以上元素；

所述層B由從：

式2：B_1-x-yC_xN_y，但是，x、y分別表示原子比，0≤x≤0.25、B/N≤1.5、

式3：Si_1-x-yC_xN_y，但是，x、y分別表示原子比，0≤x≤0.25、0.5≤Si/N≤2.0、

式4：C_1-xN_x，但是，x表示原子比，0≤x≤0.6、

式5：Cu_1-y(C_xN_1-x)_y，但是，x、y分別表示原子比，0≤x≤0.1、0≤y≤0.5中選擇的任何一個組成構成。

2.如權利要求1所述的硬質疊層被膜，其特征是：

所述層A，由(Ti_1-x-yAl_xM_y)(B_aC_bN_1-a-b-cO_c)的組成構成，但是，x、y、a、b、c分別表示原子比，0.5≤x≤0.8、0.05≤y≤0.6、0≤a≤0.15、0≤b≤0.3、0≤c≤0.1、M為從Cr、V、Si中選擇的1種以上元素。