[發明專利]疊層型壓電元件

有效

• 申請號: 200810080741.X
• 申請日: 2004-07-28
• 公開（公告）號: CN101271957A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 小野進;岡村健;坂上勝伺;平隆晶;寺園正喜
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 朱丹

1.一種疊層型壓電元件，包含由壓電體和內部電極交替疊層而構成的疊層體，其特征在于：所述壓電體的接觸所述內部電極的部分的平均結晶粒徑，比其以外的位置的平均結晶粒徑更大。

2.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述壓電體的接觸所述內部電極的部分的最小結晶粒徑，比其以外的位置的最小結晶粒徑更大。

3.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：接觸所述內部電極的部分的壓電體的最小結晶粒徑為0.5μm以上5μm以下。

4.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述內部電極主成分為VIII族金屬及/或Ib族金屬。

5.如權利要求4所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述內部電極含有VIII族金屬和Ib族金屬，當將VIII族金屬的含有量設為M1％(質量)、Ib族金屬的含有量設為M2％(質量)時，以其組成比滿足0＜M1≤15、85≤M2＜100、M1+M2＝100的方式進行設定。

6.如權利要求5所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述VIII族金屬是由選自以Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Os構成的組中的至少一種以上而構成，Ib族金屬是由選自以Cu、Ag、Au構成的組中的至少一種以上而構成。

7.如權利要求6所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述VIII族金屬是Pt、Pd之中的至少一種以上，Ib族金屬是Ag、Au之中的至少一種以上。

8.如權利要求6所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述VIII族金屬是Ni。

9.如權利要求6所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述Ib族金屬是Cu。

10.如權利要求4所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述內部電極除所述主成分之外還含有無機組合物。

11.如權利要求10所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述無機組合物將由PbZrO₃-PbTiO₃構成的鈣鈦礦型氧化物作為主成分。

12.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述壓電體將鈣鈦礦型氧化物作為主成分。

13.如權利要求12所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述壓電體將由PbZrO₃-PbTiO₃構成的鈣鈦礦型氧化物作為主成分。

14.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：所述疊層體的燒成溫度為900℃以上1000℃以下。

15.如權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述內部電極是，包含交替疊層的第一內部電極和第二內部電極，并在所述疊層體的第一側面上露出所述第一內部電極的端部，而另一方面，第二內部電極的端部從所述第一側面分離，并從其第一側面朝所述第二內部電極的端部形成槽，

在與所述第一側面相對的所述疊層體的第二側面上露出所述第二內部電極的端部，而另一方面，第一內部電極的端部從所述第二側面分離，并從其第二側面朝所述第一內部電極的端部形成槽，

在所述槽中分別填充楊氏模量比所述壓電體更低的絕緣體。