[發明專利]用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法無效
| 申請號： | 200810062982.1 | 申請日： | 2008-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN101308079A | 公開（公告）日： | 2008-11-19 |
| 發明（設計）人： | 居冰峰;伏明明;金偉鋒 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01N13/10 | 分類號： | G01N13/10;G12B21/20;G01B21/00 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 310027*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 掃描 探針 顯微鏡 螺旋式 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法，其特征在于：將旋轉編碼器(1)安裝在旋轉空氣軸承(2)上，待測工件(3)安裝在旋轉空氣軸承(2)上，在氣浮導軌(6)上安裝有線性編碼器(5)和與待測工件(3)相配合的SPM測量頭(4)，移動SPM測量頭（4）對準到旋轉空氣軸承（2）的中心點上，當工作時，旋轉空氣軸承高速旋轉，從旋轉編碼器獲得旋轉的角度，氣浮導軌沿著待測工件的徑向運動，從線性編碼器獲得氣浮導軌的位移，旋轉空氣軸承和氣浮導軌從而構成掃描模塊，利用DSP綜合控制系統模塊驅動SPM測量頭獲得待測工件表面的高度信息，再利用高速數據采集與處理模塊將SPM測量頭和掃描模塊關聯在同一個坐標系中，實現掃描頻率和形貌測量速度匹配、極坐標和直角坐標之間的數據快速實時轉換，從而實現微納結構三維形貌的高速、大面積超精密測量。
2.根據權利要求1所述的一種用于掃描探針顯微鏡的螺旋式掃描方法，其特征在于所述的DSP綜合控制系統模塊采用TMS320FA2812芯片。
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