[發(fā)明專利]一種射頻自動阻抗匹配器及其實(shí)現(xiàn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810055642.6
• 申請日: 2008-01-04
• 公開（公告）號: CN101478856A
• 公開（公告）日: 2009-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武曄
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王 琦;王誠華

1.一種射頻自動阻抗匹配器，包括：傳感器以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在 于，所述射頻自動阻抗匹配器還包括：控制器、驅(qū)動裝置以及負(fù)載接地電容；

所述控制器，用于獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲的不同工 藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu) 負(fù)載接地電容值，并控制所述驅(qū)動裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為 所述確定的與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；

所述驅(qū)動裝置，用于在所述控制器的控制下，將所述負(fù)載接地電容的當(dāng) 前值調(diào)整為所述控制器確定的與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電 容值；

所述負(fù)載接地電容，用于在所述驅(qū)動裝置的控制下，改變自身電容值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動阻抗匹配器，其特征在于，所述驅(qū) 動裝置為步進(jìn)電機(jī)，用于接收所述控制器發(fā)送的步進(jìn)脈沖，控制所述負(fù)載接 地電容改變當(dāng)前值；

所述控制器根據(jù)預(yù)先確定的步進(jìn)電機(jī)每一步進(jìn)所改變的負(fù)載接地電容 值，計算將負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的與所述當(dāng)前工藝條件對 應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值時，需要向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送的步進(jìn)脈沖個 數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動阻抗匹配器，其特征在于，所述射 頻自動阻抗匹配器中進(jìn)一步包括：

測量裝置，用于實(shí)時測量所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值，并反饋給所述控 制器；

所述控制器根據(jù)反饋結(jié)果，實(shí)時調(diào)整對所述驅(qū)動裝置的控制方式。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動阻抗匹配器，其特征在于，所述控 制器進(jìn)一步用于，對所述存儲的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值 進(jìn)行更新。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的射頻自動阻抗匹配器，其特征在 于，所述控制器中進(jìn)一步包括：獲取單元、確定單元以及控制單元；

所述獲取單元，用于獲取當(dāng)前的工藝條件；

所述確定單元，用于根據(jù)預(yù)先確定并存儲的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu) 負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；

所述控制單元，用于控制所述驅(qū)動裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào) 整為所述確定的與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。

6.一種射頻自動阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于，在控制器與負(fù)載 接地電容之間設(shè)置一個用于控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動裝置；該方法包括：

控制器獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲的不同工藝條件下對 應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電 容值；

所述控制器控制所述驅(qū)動裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所 述確定的與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述不同工藝條件下對 應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值以表格的形式存儲在所述控制器中；

所述確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值包括：

所述控制器通過查找所述表格，找到與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù) 載接地電容值。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為步進(jìn)電 機(jī)；所述控制器控制所述驅(qū)動裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述 確定的與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值包括：

所述控制器根據(jù)預(yù)先確定的所述步進(jìn)電機(jī)每一步進(jìn)所改變的負(fù)載接地 電容值，計算將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的與所述當(dāng)前工 藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值時，需要向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送的步進(jìn) 脈沖個數(shù)；

所述控制器向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送步進(jìn)脈沖；

所述步進(jìn)電機(jī)接收步進(jìn)脈沖，控制所述負(fù)載接地電容改變當(dāng)前值。

9.根據(jù)權(quán)利要求6、7或8所述的方法，其特征在于，該方法進(jìn)一步包 括：對所述控制器中存儲的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值進(jìn)行 更新。