[發明專利]表面規則凹凸起伏的樣品臺及其制作方法無效
| 申請號: | 200810051492.1 | 申請日: | 2008-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN101408513A | 公開(公告)日: | 2009-04-15 |
| 發明(設計)人: | 田堅;金麗虹;翁占坤;申炳俊;王一郎 | 申請(專利權)人: | 長春理工大學 |
| 主分類號: | G01N21/65 | 分類號: | G01N21/65 |
| 代理公司: | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人: | 曲 博 |
| 地址: | 130022吉林*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 表面 規則 凹凸 起伏 樣品 及其 制作方法 | ||
1、一種表面規則凹凸起伏的樣品臺,其特征在于,在平面基板上格狀分布粒度在150~250nm范圍的球狀物,球狀物表面有金屬鍍層,所有球狀物背離基板一側的表面共同構成樣品臺規則凹凸起伏表面。
2、根據權利要求1所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺,其特征在于,平面基板材料為玻璃。
3、根據權利要求1所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺,其特征在于,球狀物材料為聚苯乙烯或者聚丙烯。
4、根據權利要求1所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺,其特征在于,表面金屬鍍層為銀層或者金層。
5、一種表面規則凹凸起伏的樣品臺的制作方法,其特征在于,將樣品臺基板水平放置于盛有揮發性溶劑的容器底部,倒入粒度在150~250nm的球狀物,靜置直至溶劑完全揮發,球狀物自然沉積在基板上并呈格狀分布,將容器放入鍍液中,在球狀物表面形成金屬鍍層。
6、根據權利要求5所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺的制作方法,其特征在于,所述揮發性溶劑采用無水乙醇。
7、根據權利要求5所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺的制作方法,其特征在于,所述鍍液采用硝酸銀,濃度為10~20%(wt),經光照硝酸銀分解,分解出的銀沉積在球狀物表面上,形成金屬鍍層,光照時間為30~60秒。
8、根據權利要求7所述的表面規則凹凸起伏的樣品臺的制作方法,其特征在于,金屬鍍層的厚度在80~120nm范圍內。
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