[發明專利]去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法有效
| 申請號： | 200810042592.8 | 申請日： | 2008-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN101664745A | 公開（公告）日： | 2010-03-10 |
| 發明（設計）人： | 黃平;陸一峰;葉青;周琦 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;B08B3/08;C23F1/36;H01L21/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 去除 工藝 熱交換器 表面 沉積 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法，其特征在于包括下列步驟：
(a)在所述熱交換器表面沉積有鋁薄膜的區域涂覆堿性溶液；
(b)等待第一設定時間之后，使用去離子水浸濕的無塵布擦拭所述區域，擦拭的同時使用干燥空氣或惰性氣體吹干所述區域；
(c)對所述熱交換器進行第二設定時間的烘干處理；
其中，所述堿性溶液為溫度為0℃～50℃、濃度為0.5mol/L～1mol/L的KOH或NaOH溶液，所述第一設定時間為10分鐘～30分鐘。
2.根據權利要求1所述的去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法，其特征在于在所述步驟(a)之后進行一次以上步驟(b)。
3.根據權利要求1所述的去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法，其特征在于在步驟(b)之后使用異丙醇溶液浸濕的無塵布擦拭所述區域，同時使用干燥空氣或惰性氣體吹干所述區域。
4.根據權利要求1所述的去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法，其特征在于所述第二設定時間為大于等于6小時。
5.根據權利要求1所述的去除鋁工藝中熱交換器表面沉積的鋁薄膜的方法，其特征在于在步驟(c)之后使用殘余氣體分析裝置檢測所述熱交換器表面的金屬離子濃度，以決定是否需要再次進行步驟(b)。
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