[發明專利]一種光刻機臺的光刻燈的自動置換方法和裝置

無效

• 申請號: 200810042387.1
• 申請日: 2008-09-02
• 公開（公告）號: CN101666981A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 孫耀華;金志銳;吳凌輝
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 鄭立柱

1.一種光刻機臺的光刻燈的自動置換方法，其中，包括如下步驟：

A.檢測光刻機臺使用的當前光刻燈的工作時間信息；

B.比較所述工作時間信息和預定閾值，根據比較結果判斷是否需要置換當前光刻燈；

C.如需要置換當前光刻燈，則以備用光刻燈置換所述當前光刻燈。

2.根據權利要求1所述的自動置換方法，其特征在于，所述工作時間信息包括已使用時間和/或剩余使用時間。

3.根據權利要求2所述的自動置換方法，其特征在于，當所述工作時間信息包括已使用時間時，所述步驟B還包括如下步驟：

B11.比較所述已使用工作時間和第一預定閾值，判斷所述已使用工作時間是否大于所述第一預定閾值；

B12.當所述已使用工作時間大于所述第一預定閾值時，則確定需要置換當前光刻燈。

4.根據權利要求2所述的自動置換方法，其特征在于，當所述工作時間信息包括剩余使用時間時，所述步驟B還包括如下步驟：

B21比較所述剩余使用工作時間和第二預定閾值，判斷所述剩余使用工作時間是否小于所述第二預定閾值；

B22.當所述剩余使用工作時間小于所述第二預定閾值時，則確定需要置換當前光刻燈。

5.根據權利要求3或4所述的置換方法，其特征在于，還包括如下步驟：

-通過光刻燈信息確定所述第一預定閾值和第二預定閾值，

其中，所述光刻燈信息包括所述當前光刻燈的額定使用時間。

6.根據權利要求5所述的自動置換方法，其特征在于，所述第一預定閾值的取值范圍為所述光刻燈的額定使用時間的90％到100％，所述第二預定閾值的取值范圍為所述光刻燈的額定使用時間的0到10％。

7.根據權利要求1所述的自動置換方法，其特征在于，還包括如下步驟：

-調整所述光刻燈和燈座的相對位置，以使所述光刻燈的亮度和均勻度適用于所需光刻要求。

8.一種光刻機臺的光刻燈的自動置換裝置，其中，包括：

檢測裝置，用于檢測光刻機臺使用的當前光刻燈的工作時間信息，并發送檢測信息給第一比較判斷裝置；

第一比較判斷裝置，接收來自所述檢測裝置的所述檢測信息，根據所述檢測信息比較所述工作時間信息和預定閾值，根據比較結果判斷是否需要置換當前光刻燈，并發送第一比較判斷信息給置換裝置；

置換裝置，接收來自所述第一比較判斷裝置的所述第一比較判斷信息，如需要置換當前光刻燈，用于以備用光刻燈置換所述當前光刻燈。

9.根據權利要求8所述的自動置換裝置，其特征在于，所述工作時間信息包括已使用時間和/或剩余使用時間。

10.根據權利要求9所述的自動置換裝置，其特征在于，當所述工作時間信息包括已使用時間時，還包括：

第二比較判斷裝置，用于比較所述已使用工作時間和第一預定閾值，判斷所述已使用工作時間是否大于所述第一預定閾值，并發送第二比較判斷信息給第一確定裝置；

第一確定裝置，接收來自所述第二比較判斷裝置的所述第二比較判斷信息，當所述已使用工作時間大于所述第一預定閾值時，用于確定需要置換當前光刻燈。

11.根據權利要求9所述的自動置換裝置，其特征在于，當所述工作時間信息包括剩余使用時間時，還包括：

第三比較判斷裝置，用于比較所述剩余使用工作時間和第二預定閾值，判斷所述剩余使用工作時間是否小于所述第二預定閾值，并發送第三比較判斷信息給第二確定裝置；

第二確定裝置，接收來自所述第三比較判斷裝置的所述第三比較判斷信息，當所述剩余使用工作時間小于所述第二預定閾值時，用于確定需要置換當前光刻燈。

12.根據權利要求10或11所述的自動置換裝置，其特征在于，還包括：

第三確定裝置，用于通過光刻燈信息確定所述第一預定閾值和第二預定閾值，

其中，所述光刻燈信息包括所述當前光刻燈的額定使用時間。

13.根據權利要求12所述的自動置換裝置，其特征在于，所述第一預定閾值的取值范圍為所述光刻燈的額定使用時間的90％到100％，所述第二預定閾值的取值范圍為所述光刻燈的額定使用時間的0到10％。