[發明專利]一種晶圓運輸車

無效

• 申請號: 200810033817.3
• 申請日: 2008-02-22
• 公開（公告）號: CN101229816A
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 李雨庭
• 申請（專利權）人: 上海杰浪國際貿易有限公司
• 主分類號: B62B3/02
• 分類號: B62B3/02;B65G49/06;B66F9/065
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅

1.一種晶圓運輸車，包括底座、車身、兩層擱板和升降驅動裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于：所述下擱板在升降驅動裝置的驅動下可向上升起，具體地，所述上擱板由兩塊擋板鉸接至一軸桿而組成，所述軸桿固定在車身的支架上，兩塊擋板可繞軸桿轉動，并具有一展開狀態和一收攏狀態；所述的升降驅動裝置包括兩組滑輪，該兩組滑輪固定在車身上，且每組滑輪上均跨設有拉繩，所述拉繩的一端固定在下擱板上，通過拉動拉繩的另一端可升起下擱板。

2.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述下擱板的底部還設有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動金屬柱，通過拉動拉繩的另一端升起活動金屬柱而托起下擱板。

3.如權利要求2所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述擋板底部開有兩道滑槽，滑槽內設有滑動件，且每個滑動件與相應的活動金屬柱之間通過一滑輪繩相連，所述擋板的底部與車身支架之間還通過阻尼彈簧連接。

4.一種晶圓運輸車，包括底座、車身、兩層擱板和升降驅動裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于：所述下擱板在升降驅動裝置的驅動下可向上升起，具體地，所述晶圓運輸車設有一側車身，其上設有導軌，所述上擱板的一端通過一擱板支柱與下擱板固定連接，所述上、下擱板的另一端通過滑輪或滑塊可沿車身上的導軌滑動；所述的升降驅動裝置包括動力剪及其驅動固定部件，該動力剪的一端通過驅動固定部件安裝在運輸車底座上，另一端與下擱板相連，通過改變動力剪的張開角度可實現下擱板的上升與下降。

5.如權利要求4所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的驅動固定部件包括螺桿、傳動滑塊、連接器和直流馬達，所述螺桿通過螺桿固定座固定至運輸車底座，所述動力剪的一端連接至傳動滑塊，所述傳動滑塊通過連接器連接至直流馬達，所述傳動滑塊在直流馬達的驅動下沿螺桿滑動，以改變動力剪的張開角度。

6.如權利要求4所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的上、下擱板上還分別設有擱籬，用于將晶盒圍在晶盒放置區域內，避免晶盒從擱板上摔落。

7.一種晶圓運輸車，包括底座、車身、兩層擱板和升降驅動裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于：所述下擱板在升降驅動裝置的驅動下可向上升起，具體地，所述晶圓運輸車設有一側車身，其上設有導軌，所述上擱板由一框架、設置于框架上的前、后滑板及中央固定架構成，前、后滑板與中央固定架之間為中空，且前、后滑板可沿框架導軌同時朝向或者遠離中央固定架滑動；所述運輸車的前端還設有一擱板支架，上擱板固定在擱板支架上，下擱板的一端可沿擱板支架滑動；所述的升降驅動裝置包括動力剪及其驅動固定部件，以及滑板驅動部件，該動力剪的一端通過驅動固定部件安裝在運輸車底座上，另一端與下擱板相連，通過改變動力剪的張開角度可實現下擱板升降，當下擱板上升時，由滑板驅動部件驅動前、后滑板向遠離中央固定架的方向移動，當下擱板下降時，由滑板驅動部件驅動前、后滑板向靠近中央固定架的方向移動。

8.如權利要求7所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的驅動固定部件包括螺桿、傳動滑塊、連接器和直流馬達，所述螺桿通過螺桿固定座固定至運輸車底座，所述動力剪的一端連接至傳動滑塊，所述傳動滑塊通過連接器連接至直流馬達，所述傳動滑塊在直流馬達的驅動下沿螺桿滑動，以改變動力剪的張開角度。

9.如權利要求7所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的滑板驅動部件包括拉繩滑輪、滑板拉繩及拉力彈簧，該拉繩滑輪設置在中央固定架下方，滑輪上跨設有滑板拉繩，拉繩的一端固定在下擱板上，另一端分出兩股，分別連接在前、后滑板上，所述拉力彈簧分別設置在前滑板與擱板支架之間，以及后滑板與車身之間。

10.如權利要求7所述的晶圓運輸車，其特征在于：中央固定架到擱板支架的距離等于中央固定架到車身的距離，且該距離大于一個晶盒底盤的寬度。

11.如權利要求7所述的晶圓運輸車，其特征在于：初始狀態下，上、下擱板之間留有大于一個晶盒高度的距離，上擱板的前、后滑板到中央固定架的距離都等于晶盒底盤的寬度，從而前滑板與中央固定架一起支撐一個晶盒，中央固定架與后滑板一起支撐一個晶盒。

12.如權利要求7所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的動力剪及其驅動固定部件也可采用手動裝置來替換，該手動裝置包括搖桿、連桿、擺桿、翹翹桿、翹翹桿的支架以及用于支撐抵頂下擱板的支桿，所述搖桿、連桿、擺桿、翹翹桿及支桿依次相互軸接；當搖桿向左搖動時，連桿按逆時針方向轉動，帶動擺桿向下運動，使得翹翹桿連接支桿的一端上升，從而由支桿頂起下擱板上升；當搖桿向右搖動時，連桿按順時針方向轉動，帶動擺桿向上運動，使得翹翹桿連接支桿的一端下降，從而由支桿拉動下擱板下降。