[發明專利]一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置

無效

• 申請號: 200810030815.9
• 申請日: 2008-03-14
• 公開（公告）號: CN101251439A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 李圣怡;戴一帆;吳宇列;鄭子文;胡曉軍;王貴林;陳善勇
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍國防科學技術大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01M11/00;G01B11/24
• 代理公司: 長沙恒熙知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃洪;周躍仁

1.一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，包括激光源(1)、數碼相機(2)、分光棱鏡(3)、帶支架(5)的平臺(4)和計算機(10)，其特征在于；所述激光源(1)、數碼相機(2)和分光棱鏡(3)都安裝在平臺(4)上；所述分光棱鏡(3)安裝在激光源(1)的正前方，并與激光源(1)的光的射出方向呈45度夾角；所述數碼相機(2)安裝在激光源(1)的一側，且與分光鏡(3)按照光學成像原理布置；所述計算機(10)裝載專用軟件，通過電纜(11)與激光源(1)、數碼相機(2)和平臺(4)的支架(5)的運動機構電連接；所述平臺(4)的正前方，在固定在機床(7)夾具上的被測非球面鏡(8)的上方，安裝反射鏡支架(9)，反射鏡支架(9)橫梁上安裝反射鏡(6)，反射鏡(6)與激光源(1)的射線呈45度夾角。

2.根據權利要求1所述的一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，其特征在于：所述平臺(4)安裝在支架(5)頂部，支架(5)安裝沿X、Y、Z軸平移和繞Y、Z軸轉動的受計算機(10)控制的五自由度運動機構，運動機構與計算機(10)用電纜(11)電連接。

3.根據權利要求1所述的一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，其特征在于：所述反射鏡支架(9)為移動式門架結構。

4.根據權利要求1或3所述的一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，其特征在于：所述反射鏡(6)采用平面鏡，呈45度夾角安裝在反射鏡支架(9)橫梁上，反射鏡(6)與反射鏡支架(9)之間安裝有夾角調整固定機構。

5.根據權利要求1所述的一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，其特征在于：所述數碼相機(2)的分辨率不低于100萬象素。

6.根據權利要求1所述的一種基于相位恢復技術的大型光學鏡面在位檢測裝置，其特征在于：所述激光源(1)的波長為400nm-760nm。