[發明專利]洗濯系統

無效

• 申請號: 200810027819.1
• 申請日: 2008-04-30
• 公開（公告）號: CN101570404A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發明（設計）人: 袁淵杰;黃宗彥
• 申請（專利權）人: 深超光電（深圳）有限公司
• 主分類號: C03C19/00
• 分類號: C03C19/00;C02F1/00
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所
• 代理人: 侯來旺

技術領域

本發明主要涉及一種節省水資源系統，尤其是指一種回收廢水加以處理后應用于清洗玻璃基板的洗濯系統。

背景技術

液晶顯示器具有重量輕、體積小、易攜帶、高可靠性、省電、全彩及無輻射等多種優點，目前許多電子產品如行動電話、汽車衛星導航(GPS)、數位相機、個人數位助理(PDA)以及筆記型電腦都使用液晶顯示器。液晶顯示器若依驅動顯示技術可分為被動式(Passive?Matrix)驅動與主動式(Active?Matrix)驅動。由于主動式驅動是將電晶體元件直接做在玻璃面板上，因此玻璃基板的清潔度要求就特別重要，尤其是薄膜制程前的清洗最為重要，之后的薄膜濺鍍、曝光、剝膜、蝕刻等制程都需多次、反復的清洗，以維持玻璃面板之清潔度。單是清洗制程約佔了全部TFT-LCD面板制程的30％左右，由此可知清洗制程的重要性。

習知技術在基板在進入薄膜制程前的進行一次清洗、在剝膜制程中，剝膜設備亦系使用凈水清洗基板，在整個TFT-LCD面板制程裡，凈水的損耗很大，往往在清洗基板后，這些水就直接排出，形成一種浪費。

發明內容

本發明之主要目的在于，提供一種洗濯系統，其系能節省水資源的浪費。

本發明之另一目的在于，提供一種洗濯系統，其系收集基板薄膜成形前洗凈基板的水，利用回收設備來收集、處理進行二度利用。

為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案為：提供一洗濯系統，其系包括第一清洗設備、第一回收設備、廠務設備、第二清洗設備及第二回收設備；其中，該第一清洗設備，用來清洗第一基板，該第一清洗設備包含復數清洗段，該第一清洗設備中最后二清洗段的用水系由廠務端提供凈水清洗；又，該第一回收設備，與該第一清洗設備連接，收集最后一清洗段清洗后之回收水，供給前一清洗段清洗第一基板，該第一清洗設備的第一清洗段使用過的水，則流入該廠務設備；再，該第二清洗設備，清洗第二基板，該第二清洗設備系包含復數清洗段，最后一清洗段的用水系由廠務端提供凈水清洗；又，該第二回收設備，與第二清洗設備及廠務設備連接，收集第二清洗設備中最后一清洗段清洗后之回收水，并與廠務設備中的回收水混合后，供給前一清洗段清洗該第二基板。本發明收集基板薄膜成形前洗凈第一基板的水加以重復利用，藉此節省水資源及成本。

本發明的有益效果在于，提供一種清濯系統，其包括第一清洗設備，該第一清洗設備中最后二清洗段的用水系由廠務端提供凈水清洗；該第一回收設備，與該第一清洗設備連接，收集最后一清洗段清洗后之回收水，該第一清洗設備的第一清洗段使用過的水，則流入該廠務設備；最后一清洗段的用水系由廠務端提供凈水清洗；該第二回收設備與該第二清洗設備及該廠務設備連接，收集該第二清洗設備中最后一清洗段清洗后之回收水，并與廠務設備中的回收水混合后，供給前一清洗段清洗該第二基板，以達到該收集基板薄膜成形前洗凈第一基板的水加以重復利用，藉此節省水資源及成本的效果。

附圖說明

圖1為本發明之一實施例之結構示意圖

圖2為本發明之一實施例之結構示意圖

圖3為本發明之一實施例之結構示意圖

圖4為本發明之一實施例之結構示意圖

圖5為本發明之一實施例之結構示意圖

具體實施方式

TFT-LCD的制程中有繁復的洗凈工程，為節省水資源的浪費，降低生產成本，利用許多回收設備來處理使用過的水，再進行利用。

請參照圖1、圖2及圖3，本發明之洗濯系統40包括一第一清洗設備42、一第一回收設備、一第二清洗設備44、一第二回收設備及一廠務設備。薄膜形成于第一基板46前需以第一清洗設備42(清洗機)洗凈，此一步驟對于制造的良率構成極大的影響。

該第一清洗設備42系為一清洗機，其包括清洗段A、清洗段B、清洗段C、清洗段D及風刀段E；每一段系串聯在一起，第一基板46清洗時，其路線系依序為清洗段A->清洗段B->清洗段C->清洗段D->風刀段E；風刀段E設有風刀102、風刀104用來刮乾第一基板上殘留的水分；

具體地，該第一基板系為一玻璃板；