[發明專利]彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法

有效

• 申請號: 200810027219.5
• 申請日: 2008-04-03
• 公開（公告）號: CN101269918A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 徐剛;黃春明;何云富;侯乃升
• 申請（專利權）人: 中國科學院廣州能源研究所
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;C03C4/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 莫瑤江

1.一種彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于依次包括如下步驟：(a)將玻璃襯底洗凈并吹干；(b)將玻璃襯底放入薄膜沉積室，加熱至400～600℃；(c)通入工作氣體；(d)采用磁控濺射制備工藝制備二氧化釩熱色層；(e)采用磁控濺射制備工藝制備二氧化鈦干涉層，并精確控制干涉層的膜層厚度以得到不同顏色的二氧化釩熱色玻璃。

2.根據權利要求1所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于二氧化釩熱色層的厚度為60～80納米。

3.根據權利要求1所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于在步驟(d)中二氧化釩熱色層的制備采用三氧化二釩陶瓷靶為濺射材料，濺射電源為射頻濺射，濺射工作氣體為Ar氣與O₂氣的混合氣體，O₂氣與Ar氣分壓比或流速比為0.05～0.2∶1。

4.根據權利要求1所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：步驟(e)中二氧化鈦干涉層的制備采用金屬鈦靶為濺射材料，濺射電源為射頻濺射，工作氣體為Ar氣與O₂氣混合氣體，O₂氣與Ar氣分壓比或流速比為0.1～0.5∶1。

5.根據權利要求1所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：步驟(e)中二氧化鈦干涉層的制備采用二氧化鈦陶瓷靶為濺射材料，濺射電源為射頻濺射，工作氣體為Ar氣。

6.根據權利要求1所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于步驟(d)與(e)中膜層厚度的控制方式為：先利用石英晶振儀記錄薄膜沉積的時間與相對厚度，沉積完畢后，再利用橢偏儀對薄膜的幾何厚度進行精確測定；根據沉積時間，計算出薄膜的沉積速度；在此基礎上，設定薄膜的沉積時間，使薄膜達到需要的厚度。

7.根據權利要求1至6之任一所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：控制二氧化鈦薄膜沉積的厚度在5～20納米以得到反射顏色為粉紅色的鍍膜玻璃。

8.根據權利要求1至6之任一所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：控制二氧化鈦薄膜沉積的厚度在20～45納米以得到反射顏色為藍色的鍍膜玻璃。

9.根據權利要求1至6之任一所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：控制二氧化鈦薄膜沉積的厚度在45～70納米以得到反射顏色為淡綠色的鍍膜玻璃。

10.根據權利要求1至6之任一所述的彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法，其特征在于：控制二氧化鈦薄膜沉積的厚度在70納米以上以得到反射顏色為黃色的鍍膜玻璃。