[發(fā)明專利]一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的方法及裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810019834.1 | 申請(qǐng)日： | 2008-03-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101241027A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃寓洋;楊晨;劉偉;曾春紅;張耀輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01J3/28 | 分類號(hào)： | G01J3/28;G01J3/12 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 陶海鋒 |
| 地址： | 215125江蘇省蘇州市*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 測(cè)定 光電 器件 微區(qū)光 反射 方法 裝置 | ||
1.一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的方法，將激光器發(fā)出的激光光束聚焦成所需直徑的光束，精確投射到待測(cè)量的微區(qū)上，用探測(cè)器收集從微區(qū)反射出來(lái)的激光光束，其特征在于：所述激光光束的聚焦通過(guò)金相顯微鏡的照明光路實(shí)現(xiàn)，利用金相顯微鏡的目鏡進(jìn)行觀測(cè)，并微調(diào)光電器件的位置，實(shí)現(xiàn)所述激光束的精確投射。
2.一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的裝置，其特征在于：包括金相顯微鏡(6)、半透半反鏡(2)、激光器(1)和探測(cè)器(3)，所述半透半反鏡位于金相顯微鏡的照明光路上，用于將所述激光器(1)發(fā)射的激光光束耦合進(jìn)金相顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)中，被檢測(cè)樣品(4)位于所述金相顯微鏡的載物臺(tái)(8)上，所述探測(cè)器(3)位于反射光的光路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的裝置，其特征在于：所述激光器(1)是可調(diào)諧激光器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的裝置，其特征在于：所述金相顯微鏡(6)具有照相通道(7)，所述探測(cè)器(3)位于照相通道(7)內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種測(cè)定光電器件微區(qū)光反射譜的裝置，其特征在于：所述金相顯微鏡(6)無(wú)照相接口，在反射光的主光路上設(shè)置半透半反鏡(5)，所述探測(cè)器(3)位于所述半透半反鏡(5)的垂直主光路上。
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