[發(fā)明專利]SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810017967.5
• 申請日: 2008-04-15
• 公開（公告）號: CN101251339A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王曉剛
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西西科博爾科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00;C01B31/36
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所
• 代理人: 李子安

1.一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，設(shè)置在SiC合成爐兩端的用于移動收集裝置的離合行走機構(gòu)，設(shè)置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設(shè)置有氣體出口；所述收集裝置包括收集罩殼，設(shè)置在SiC合成爐爐體兩側(cè)的軌道，設(shè)置在收集罩殼兩側(cè)下端在軌道上行駛的車輪，設(shè)置在車輪內(nèi)側(cè)或外側(cè)的與收集罩殼封閉連接的密封裙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述收集罩殼為剛性罩殼、柔性罩殼或剛性與柔性結(jié)合的罩殼。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述密封連接裝置為設(shè)置在SiC合成爐端部的、使收集裝置移動到SiC合成爐上時形成封閉連接的密封墻體，以及設(shè)置在密封墻體以外、SiC合成爐周圍的用于配合收集裝置隔離外部空氣的水封槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述密封墻體設(shè)置在SiC合成爐爐體一端或兩端，收集裝置和密封墻體之間采用彈性密封膠墊進行密封。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述離合行走機構(gòu)為設(shè)置在SiC合成爐爐體兩端方向的輪軸和導(dǎo)向輪以及連接輪軸、導(dǎo)向輪和收集裝置的牽引繩。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述檢測分析裝置為氣體檢測裝置、與氣體檢測裝置連接的控制器和與控制器連接的充氣風(fēng)機；所述氣體檢測裝置為氧氣含量檢測裝置和一氧化碳含量檢測裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于：所述均衡泄壓裝置為安裝在收集裝置內(nèi)表面的用于檢測收集氣體壓力的壓力檢測裝置，與壓力檢測裝置連接的泄壓閥門和排風(fēng)機。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述收集系統(tǒng)進行氣體收集的方法，該方法包括以下步驟：

1)SiC合成原料混合配制，裝入SiC合成爐；

2)將收集裝置平移到SiC合成爐爐體上端，收集裝置和密封連接裝置連接形成封閉空間；

3)供電前期，向收集裝置內(nèi)充入惰性氣體，強制排擠收集裝置內(nèi)的空氣；或者在通電后，利用SiC合成爐爐內(nèi)產(chǎn)生的爐氣自然排趕裝置內(nèi)空氣，進行空氣置換；當(dāng)收集裝置內(nèi)O₂濃度小于12.5％時，完成空氣置換；

4)對SiC合成爐供電生產(chǎn)碳化硅；

5)在碳化硅的生產(chǎn)過程中通過氣體出口對CO氣體進行收集；

6)對SiC合成爐停止供電；

7)對SiC合成爐停爐冷卻，同時延時收集CO氣體，進行爐氣置換，爐氣置換采用冷爐空氣吹掃或熱爐充惰方式進行置換，當(dāng)收集裝置內(nèi)CO濃度小于12.5％時，完成爐氣置換；

8)將收集裝置移出；

9)將碳化硅出爐。