[發明專利]一種微電子氣源柜吹掃系統

無效

• 申請號: 200810010853.8
• 申請日: 2008-03-25
• 公開（公告）號: CN101276732A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 王軍;韓一兵;孫艷
• 申請（專利權）人: 大連八方經濟技術有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;F17D1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種微電子氣源柜吹掃系統，吹掃系統由供氣管路系統和吹掃管路系統組成，特征在于供氣管路系統的管路氣源端部與吹掃管路系統相連通，供氣管路系統的用戶端通過閥門連通有排氣管路。

2、如權利要求1所述的微電子氣源柜吹掃系統，其特征在于所述的吹掃管路系統由并聯的低壓氣體輸送管路和高壓氣體輸送管路組成，并分別與供氣管路系統的管路連通。

3、如權利要求2所述的微電子氣源柜吹掃系統，其特征在于所述的吹掃管路系統的高壓氣體輸送管路通過一高壓三通截止閥與與供氣管路系統的管路連通。

4、如權利要求1所述的微電子氣源柜吹掃系統，其特征在于供氣管路系統用戶端和吹掃管路系統由單向閥各與一排氣管路相連通。

5、如權利要求1所述的微電子氣源柜吹掃系系統，其特征在于與供氣管路系統用戶端連通的排氣管路與文丘里管的旁路連通，文丘里管進氣端與稀釋氣源管路連通。

6、如權利要求1或2或3或4或5所述的微電子氣源柜吹掃系系統，其特征在于與供氣管路系統用戶端連通的排氣管路與文丘里管的旁路連通，文丘里管進氣端與稀釋氣源管路連通。