[發(fā)明專利]互連結構及制造該互連結構的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810007816.1
• 申請日: 2008-02-19
• 公開（公告）號: CN101252116A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 羅曼·克內夫勒;克里斯托夫·克萊因特;斯特芬·邁爾;尼古拉·納格爾
• 申請（專利權）人: 奇夢達股份公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522;H01L21/768
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

背景技術

諸如易失性或非易失性存儲器陣列的存儲器陣列的存儲單元使用互連結構將陣列的存儲單元連接至支持電路(例如，讀出放大器、解碼器和字線(wordline))。未來技術旨在使得最小特征尺寸(minimum?feature?size)變得更小以增加存儲密度和降低存儲器產品的成本。當將存儲器陣列按比例減小至更小的最小特征尺寸時，互連結構也必須按比例減小。由于例如光刻法的可行性、觸點邊的斜度或填充材料的抵抗力，按比例減小諸如位線和位線觸點的互連結構(包括最小特征尺寸)是至關重要的和有挑戰(zhàn)性的。

發(fā)明內容

在本文中描述了互連結構，該互連結構可以例如用于存儲單元陣列，如易失性或非易失性存儲單元陣列。在本文中也描述了存儲裝置、包括存儲裝置的存儲卡(card，插件)以及配置為連接至存儲插件的電子裝置。此外，在本文中描述了制造互連結構的方法。

互連結構包括均勻隔開的觸點開口的兩個交錯行，其中每個觸點行沿著第一方向延伸。互連結構進一步包括沿著與第一方向相交的第二方向延伸的導電線以及中間觸點，其中每個中間觸點與一個觸點和一根導電線接觸。

附圖被包括進來以提供本發(fā)明實施例的進一步的理解并被結合進來構成本說明書的一部分。附圖圖解說明了本發(fā)明的實施例并且與說明書一起用來解釋本發(fā)明的原理。其它實施例和許多預期的優(yōu)點將被容易理解，因為參照下列詳細描述它們變得更好理解。附圖的元件不必相對彼此成比例。相似的附圖標記表示相應的類似部件。

附圖說明

圖1A至圖3B示出了在制造互連結構的示例性實施例中的一部分襯底的平面圖和橫截面視圖。

圖4A和圖4B示出了在制造互連結構的另一實施例中的一部分襯底的平面圖。

圖5A至圖8C示出了在制造互連結構的另外的實施例中的一部分襯底的橫截面視圖。

圖9A至圖11示出了在制造互連結構的另一實施例中的一部分襯底的平面圖和橫截面視圖。

圖12至圖13B示出了在根據另外實施例的制造互連結構的過程中的一部分襯底的橫截面視圖。

圖14示出了圖解說明用于制造互連結構的方法的實施例的流程圖；以及

圖15示出了圖解說明制造互連結構的方法的另外實施例的流程圖。

具體實施方式

在下列詳細的描述中針對附圖進行介紹，該描述構成本說明書的一部分并且在描述過程中通過示例的方式示出了具體實施例。在這點上，對于所描述的附圖的方位使用了如“頂部”、“底部”、“前”、“后”、“前向的”、“尾部的”等方向術語。由于實施例的部件可以定位在許多不同的方位，所以為了圖解說明而使用了方向術語并且完全沒有加以限制的目的。應當理解可以利用另外的實施例并且可以進行結構或邏輯上的變化。因此，不在限制意義上理解下列詳細描述。

根據一種實施例，互連結構包括均勻隔開的觸點開口的兩個交錯行，即，第一行和第二行，其中每個觸點行在第一方向上延伸。互連結構進一步包括沿著與第一方向相交的第二方向延伸的導電線以及中間觸點，其中每個中間觸點與一個觸點和一根導電線接觸。互連結構進一步包括鄰接導電線底部和中間觸點側壁的絕緣層。

導電線、中間觸點以及觸點可以構成將存儲單元連接至支持電路的位線和位線觸點。然而，導電線、中間觸點以及觸點也可以用于將集成電路的任何類型的功能區(qū)連接至集成電路的另外的功能區(qū)。導電線、中間觸點以及觸點可以由任何導電材料形成，如金屬、貴金屬、金屬合金或摻雜半導體。雖然可以使用普通材料以獲得導電線、中間觸點以及觸點，但是這些部件的材料組成也可以彼此完全或部分不同。示例性材料包括：W、TiN、WN、TaN、Cu、Ta、Al、金屬硅化物、摻雜硅或其任何組合。導電線、中間觸點以及觸點可以由例如襯套(liner)圍繞。與導電線底部和中間觸點側壁直接接觸的絕緣層可以由適于使得導電區(qū)彼此電絕緣的任何材料形成。示例性材料包括氧化物和氮化物，例如氧化硅和氮化硅。例如，第二方向可以垂直于第一方向。

根據一種另外的實施例，兩個交錯行的觸點彼此錯位二分之一個觸點間距。根據一種示例性實施例，一行的觸點相等地間隔最小特征尺寸的四倍，其中兩個交錯行的觸點彼此錯位最小特征尺寸的兩倍。

另外的實施例提供了一種互連結構，其中，沿著第一方向的中間觸點的尺寸小于沿著第一方向的觸點的最大尺寸。由于觸點通過中間觸點被連接至導電線，所以可以使得沿第一方向的觸點的頂部尺寸大于導電線底部。因此，可以放松對于觸點頂部的臨界尺寸的要求。