[發(fā)明專利]物品供給裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810003120.1
• 申請日: 2008-01-10
• 公開（公告）號: CN101221919A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山本真
• 申請（專利權(quán)）人: 村田機(jī)械株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G1/04;B65G49/07
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 胡建新

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種將半導(dǎo)體晶圓等物品向處理裝置供給的裝置。

背景技術(shù)

申請人提出了一種將液晶基板或等離子顯示器基板等收容在托盤中并向處理裝置供給的裝置(專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-168483)。在該裝置中，通過傳送帶輸送托盤，在處理裝置前存儲并將基板從托盤取出而向處理裝置供給。

但是，在將半導(dǎo)體晶圓等供給到處理裝置時，多個晶圓被收容在1個容器中而被輸送。此處，當(dāng)沒有時機(jī)良好地將晶圓供給到處理裝置時，處理裝置的效率降低。尤其是在容器的收容個數(shù)與由處理裝置一起處理的個數(shù)不同的情況下，還需要向處理裝置供給需要個數(shù)的晶圓。并且，為了應(yīng)付容器到達(dá)的順序和由處理裝置處理晶圓的優(yōu)先度不同的情況，需要將向處理裝置供給晶圓的順序根據(jù)容器的到達(dá)順序變更的結(jié)構(gòu)。并且，需要將容器內(nèi)的晶圓的組合與下一處理裝置配合而進(jìn)行變更，因此，在將處理結(jié)束的晶圓向容器供給時，需要變更晶圓的組合的結(jié)構(gòu)。因此，發(fā)明人為了解決上述的問題而進(jìn)行了本發(fā)明。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-168483

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題為，即使在由處理裝置一起處理的物品的數(shù)量比收容在容器中的物品的數(shù)量多的情況下，也可向處理裝置供給需要數(shù)量的物品。在本申請的第二發(fā)明中的追加課題為，可將處理的優(yōu)先度高的物品比到達(dá)處理裝置的順序優(yōu)先地進(jìn)行處理。在本申請的第三發(fā)明中的追加課題為，可配合下一處理裝置而變更收容在容器中的物品的組合。

本發(fā)明為一種將物品從收容多個物品的容器中取出而向處理裝置供給的裝置，其特征為，具有：容器保管架，用于保管上述容器；物品保管架，用于保管從上述容器取出的物品；移載單元，用于從上述容器取出放入上述物品，而將上述物品在上述容器與上述物品保管架之間進(jìn)行輸送；輸送單元，用于在上述移載單元和上述容器保管架之間輸送上述容器；以及供給單元，用于從上述物品保管架取出需要的上述物品并向上述處理裝置供給，并且將來自上述處理裝置的上述物品向上述物品保管架供給。

優(yōu)選，上述供給單元從上述物品保管架將需要的上述物品隨機(jī)地向上述處理裝置自由供給。并且優(yōu)選，上述移載單元從上述物品保管架將需要的上述物品隨機(jī)地向上述容器自由收容。

在本發(fā)明中，因為將容器暫時保管在容器保管架上，并將從容器取出的物品保管在物品保管架上，因此，將處理裝置需要的物品儲存在這些架上，而可迅速地供給。并且，可將容器保管架作為與外部的輸送裝置的暫存區(qū)，因此對于外部的輸送裝置也有效。并且，通過控制從容器保管架取出的順序，能夠以容器的單位變更容器的達(dá)到順序和在處理裝置中的處理順序。

此處，當(dāng)使供給單元從物品保管架將需要物品隨機(jī)地向處理裝置自由供給時，可變更從物品保管架將物品向處理裝置供給的順序，并可根據(jù)物品的優(yōu)先度進(jìn)行處理。并且，當(dāng)使移載單元從上述保管架將需要的上述物品隨機(jī)地向上述容器自由收容時，可配合下一處理裝置等而變更設(shè)置在容器中的物品的組合。

附圖說明

圖1是實施例的物品供給裝置的平面圖。

圖2是實施例的物品供給裝置的正面圖。

圖3是表示實施例中的物品供給路線的圖。

具體實施方式

以下說明用于實施本發(fā)明的最佳實施例。

在圖1～圖3中，以在清潔室內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓的輸送和供給為例，表示實施例。在各圖中，2為處理裝置，進(jìn)行對半導(dǎo)體晶圓的加工或檢查等處理。在處理裝置2的前面存在例如一對分類器4、6，并將半導(dǎo)體晶圓每次一個地從收容了多個半導(dǎo)體晶圓的容器18中取出放入。分類器4、6也可以兼用作移載單元和供給單元，也可以由其他部件構(gòu)成作移載單元和供給單元。8、9為晶圓暫存區(qū)，保管從容器18取出的晶圓，以物品保管架為例。對于晶圓暫存區(qū)8，分類器4可在隨機(jī)位置每次一個地取出放入晶圓。同樣，對于晶圓暫存區(qū)9，分類器6可在隨機(jī)位置每次一個地取出放入晶圓。以10、11表示收容在晶圓暫存區(qū)8、9中的多個半導(dǎo)體晶圓。在分類器4、6和裝載口14、15之間存在未圖示的帶閘門的出入口12、13。并且，在裝載口14、15的上部和下部等存在例如垂直看為重疊那樣的容器暫存區(qū)(容器保管架)16、17。