[發明專利]激光清潔系統及其方法

無效

• 申請號: 200810000090.9
• 申請日: 2008-01-03
• 公開（公告）號: CN101474626A
• 公開（公告）日: 2009-07-08
• 發明（設計）人: 陳天青;楊家森;李宏德
• 申請（專利權）人: 尚富煜科技股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;G05B19/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

1.一種激光清潔系統，應用于探針治具(10)上探針(11)污物的清除，其特征在于，包括有：

辨識單元(20)，架設于所述探針治具(10)的相對應位置用以辨識所述探針治具(10)上至少待清探針(11)，并取得對應所述待清探針(11)位置的辨識信號；

處理單元(30)，連接于所述辨識單元(20)用以接收所述辨識信號，并產生驅動信號；以及

至少一激光產生單元(40)，受到所述驅動信號的驅動以投射至少一激光(41)于所述待清探針(11)。

2.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述處理單元(30)將所接收的辨識信號輸出于顯示裝置(50)。

3.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述辨識單元(20)包含有：

獲得所述探針治具(10)的影像信息的影像擷取裝置(21)；以及

連結于所述影像擷取裝置(21)的影像辨識系統(22)，辨識出所述待清探針(11)的影像以產生表示所述待清探針(11)的平面位置的辨識信號。

4.根據權利要求3所述的激光清潔系統，其特征在于，所述影像擷取裝置(21)是電荷耦合元件。

5.根據權利要求3所述的激光清潔系統，其特征在于，所述影像擷取裝置(21)是互補式金氧半導體元件。

6.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述辨識單元(20)包含與探針治具(10)上各探針(11)形成電連結的導接式偵測裝置(23)。

7.根據權利要求6所述的激光清潔系統，其特征在于，所述導接式偵測裝置(23)具有可供導電且趨向所述探針治具(10)位移的測試板(231)，所述測試板(231)與所述探針(11)接觸而導通產生表示所述待清探針(11)的垂直位置的辨識信號，供所述所接觸的探針(11)傳送至所述處理單元(30)。

8.根據權利要求7所述的激光清潔系統，其特征在于，所述測試板(231)是銅板。

9.根據權利要求7所述的激光清潔系統，其特征在于，所述辨識信號的電壓至少大于所述探針(11)工作時的電壓。

10.根據權利要求7所述的激光清潔系統，其特征在于，所述辨識信號是由所述處理單元(30)至少通過一探針(11)傳遞至所述測試板(231)。

11.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述探針治具(10)裝設于移動式平臺(12)。

12.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)相連于移動臂(42)。

13.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)上連結調整激光(41)投射方向的掃描設備(43)。

14.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)是固態激光。

15.根據權利要求14所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)是倍頻固態激光。

16.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)頻率范圍介于1k至100kHz之間。

17.根據權利要求1所述的激光清潔系統，其特征在于，所述激光產生單元(40)波長范圍介于200nm至1200nm之間。

18.一種激光清潔方法，其特征在于，包括步驟有：

將探針治具(10)固定于平臺(12)；

辨識所述探針治具(10)上至少一待清探針(11)；

取得所述待清探針(11)位置的辨識信號；

令所述待清探針(11)與待激光投射區域形成相對應關系；以及

投射至少一激光(41)于所述待清探針(11)，以清除所述待清探針(11)上的污物。

19.根據權利要求18所述的激光清潔方法，其特征在于，還包含顯示所述識別信號的步驟。

20.根據權利要求18所述的激光清潔方法，其特征在于，在將探針治具(10)固定于平臺(12)之前還具有檢測所述探針(11)是否需要進行清潔的步驟。