[發明專利]缺陷修復裝置、缺陷修復方法、程序及計算機可讀記錄介質

無效

• 申請號: 200780023473.1
• 申請日: 2007-04-18
• 公開（公告）號: CN101484248A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 中島吉紀;的場宏次;田村壽宏
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05D1/00;G02F1/13;H01L51/50;H05B33/12
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 張 鑫

技術領域

本發明涉及根據基板上散在的缺陷的位置數據對缺陷進行修復的缺陷修復裝置、缺陷修復方法、程序以及計算機可讀記錄介質。?

背景技術

近年來，噴墨技術并不僅僅用作為在紙質介質上形成圖像的打印機裝置，還期待其作為制造裝置的用途。例如，專利文獻1中，揭示了安裝利用噴墨方式的液滴噴射元件的制造裝置的結構，作為液晶顯示器、有機EL(Electroluminescence：電致發光)顯示器、等離子體顯示器、電子發射元件、電泳顯示裝置等的制造裝置。在該專利文獻1中，為了提高對基板上的命中位置的精度，將裝置底座作為石平臺，在石平臺上分別直連設置沿同一方向傳送基板的平臺、和使噴墨頭在與平臺的行進方向正交的方向上移動的滑架機構。?

在利用噴墨方式的常用打印機中，通常是使用一個噴墨頭單元形成圖像，該噴墨頭單元對每種顏色各安裝有數個噴墨頭元件作為噴射液滴的元件，其噴嘴孔以150～300噴嘴/英寸的間隔規則排列，且寬度為1/2～2英寸。作為圖像形成方法，是一邊用送紙輪傳送記錄紙，一邊在與記錄紙的傳送方向正交的方向上多次將噴墨頭單元進行掃描，從而在記錄紙上形成圖像。?

現狀是，即使是在將該噴墨方式用作為制造裝置的情況下，噴墨頭元件也與常用打印機用的等同，噴嘴列方向的尺寸最大也只有1～2英寸左右。?

另一方面，關于液晶顯示器、有機EL顯示器、等離子體顯示器、電子發射元件、電泳顯示裝置等的制造工藝，通過使用大面積基板并增加數量，有力圖降低成本及縮短生產節拍的趨勢，而為了用噴墨方式制造上述產品，必須是可對應于一邊為達到數米長的大面積基板的制造裝置。?

作為可對大面積基板進行高速處理的使用噴墨方式的制造裝置，有并排多個噴墨頭元件并使其長度為基板尺寸以上的長度的線型噴頭(Line?head)方式。該方式使最大為1～2英寸的寬度的噴墨元件交錯排列直到基板尺寸的長度，若?基板尺寸為數米，則必須至少排列100～200個噴頭。采用該線型噴頭方式的制造裝置，可以說對于例如濾色片基板那樣的、必須對基板的整個面進行噴射且噴射位置有規則的基板，是非常有效的。?

另外，作為濾色片基板的制造方法的一部分，已知有以下結構，即，在濾色片基板上存在著色不良部分的情況下，僅對不良位置噴射濾色片材料(專利文獻2)。?

還揭示了這樣一種結構，即，設置線型固定噴墨頭和修復用噴頭，從線型固定噴墨頭中檢測不進行噴射的噴嘴，將修復用噴頭移動到與不進行噴射的噴嘴對應的位置，利用修復用噴頭代替不進行噴射的噴嘴來噴射液滴(專利文獻3)。?

此外，還揭示了以下結構，即，設置第1噴射部和第2噴射部、以及檢測第1噴射部所描繪圖案的缺陷的繪圖檢查部，根據來自繪圖檢查部的信息，將第2噴射部相對移動到與缺陷對應的位置并噴射液滴(專利文獻4)。?

專利文獻1：日本專利特開2003-191462號公報(平成15年7月8日(2003.7.8)公開)?

專利文獻2：日本專利特開2003-66218號公報(平成15年3月5日(2003.3.5)公開)?

專利文獻3：日本專利特開2005-185978號公報(平成17年7月14日(2005.7.14)公開)?

專利文獻4：日本專利特開2004-337707號公報(平成16年12月2日(2004.12.2)公開)?

發明內容

然而，若用專利文獻1中記載的線型噴頭方式來實施專利文獻2中所示的濾色片基板的修復，會產生以下問題。?

若使用線型噴頭方式作為對濾色片基板上散在的缺陷(不良位置)進行修正的方法，則要求有和在基板整個面上噴射液滴相同的處理時間，還有，噴嘴成為幾乎不進行噴射的非工作噴嘴，容易產生噴嘴堵塞。而且，必須對所有的噴嘴進行維護工作，從而會增加不需要的廢液。另外，在要使噴射量均勻化的情況下，在線型噴頭方式中，盡管只向散在的期望位置噴射液滴，但必須對總計達到數千個的噴嘴進行逐一的噴射量修正，因此效率極低。?

另外，常用打印機中經常采用的將多個噴墨頭單元在同一臺架上并排往返移動的方式中，噴墨頭單元的掃描距離增加，而且在穩定工作方面對掃描速度也有限度，從而無法縮短處理時間。?

另外今后，要求不僅僅是對大面積基板上的整個面，還希望對期望位置有效地噴射液滴，這不限于濾色片的修復，在多個制造領域中也有要求。?