[發明專利]濾色器檢測方法、濾色器制造方法和濾色器檢測裝置

無效

• 申請號: 200780014722.0
• 申請日: 2007-04-26
• 公開（公告）號: CN101427127A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: 伊藤健二
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01M11/00;G02B5/20;G02F1/13
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 張 鑫

1.一種濾色器檢測方法，用于對濾色器的不均勻缺陷進行檢測，其中，在該濾色器中各像素被黑矩陣所包圍，該濾色器檢測方法的特征在于，包括：

光照射步驟，對其中包含像素與黑矩陣之間的邊界的濾色器端部照射光，光的入射角度滿足條件：入射光相對于基板的主面法線的傾斜角度大于等于0度且小于(90+α)度，或者，入射光相對于基板的主面法線的傾斜角度大于等于0度且小于(90-α)度，其中，在上述基板的主面上已成膜有濾色器，α(大于等于0度且小于90度)表示濾色器端部的平均斜度；

拍攝步驟，當上述入射角度大于等于0度且小于(90+α)度時，借助于上述濾色器端部以大于等于0度且小于(90-α)度的反射角度進行反射，并對反射光進行拍攝，當上述入射角度大于等于0度且小于(90-α)度時，借助于上述濾色器端部以大于等于0度且小于(90+α)度的反射角度進行反射，并對反射光進行拍攝，從而得到至少兩個拍攝圖像，其中，上述反射角度不同于上述入射角度；

拍攝圖像信息分析步驟，根據上述拍攝圖像對濾色器內的亮度差進行計算；以及

不均勻缺陷判斷步驟，根據上述亮度差來判斷濾色器是否存在不均勻缺陷。

2.根據權利要求1所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

在上述光照射步驟中，分別從不同的照射方向對每一個像素的兩個以上不同的濾色器端部照射光，上述照射方向中的至少一個照射方向和其他照射方向分別處于其中包含基板的主面法線的面的相反兩側，其中，在上述基板的主面上已成膜有濾色器。

3.根據權利要求1或2所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

在上述拍攝步驟中，對從上述一個像素的兩個以上不同的濾色器端部分別朝不同拍攝方向反射的反射光進行拍攝，上述拍攝方向中的至少一個拍攝方向和其他拍攝方向分別處于其中包含基板的主面法線的面的相反兩側，其中，在上述基板的主面上已成膜有濾色器。

4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

上述入射角度和上述反射角度的、上述傾斜角度大于0度。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

上述入射角度和上述反射角度分別與切線的法線構成相等的角度，上述切線通過濾色器端部的拐點。

6.根據權利要求1至5中的任意一項所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

上述拍攝方向中的至少兩個拍攝方向垂直于黑矩陣的彼此相對的兩邊。

7.根據權利要求6所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

上述拍攝方向是垂直于黑矩陣的四個邊的四個方向。

8.根據權利要求1至7中的任意一項所述的濾色器檢測方法，其特征在于：

采用兩個用于執行上述光照射步驟的光照射裝置和兩個用于執行上述拍攝步驟的拍攝裝置，將上述光照射裝置和上述拍攝裝置配置在與通過濾色器端部的拐點的切線的法線構成相等角度的位置。

9.一種濾色器檢測裝置，用于對濾色器的不均勻缺陷進行檢測，其中，在該濾色器中各像素被黑矩陣所包圍，該濾色器檢測裝置的特征在于，包括：

光照射裝置，對其中包含像素與黑矩陣之間的邊界的濾色器端部照射光，光的入射角度滿足條件：入射光相對于基板的主面法線的傾斜角度大于等于0度且小于(90+α)度，或者，入射光相對于基板的主面法線的傾斜角度大于等于0度且小于(90-α)度，其中，α(大于等于0度且小于90度)表示濾色器端部的平均斜度；

拍攝裝置，當上述入射角度大于等于0度且小于(90+α)度時，以大于等于0度且小于(90-α)度的反射角度進行反射，并對反射光進行拍攝，當上述入射角度大于等于0度且小于(90-α)度時，以大于等于0度且小于(90+α)度的反射角度進行反射，并對反射光進行拍攝，從而得到至少兩個拍攝圖像，其中，上述反射角度不同于上述入射角度；

拍攝圖像信息分析裝置，根據上述拍攝圖像對濾色器內的亮度差進行計算；以及

不均勻缺陷判斷裝置，根據上述亮度差來判斷濾色器是否存在不均勻缺陷。

10.一種濾色器制造方法，其特征在于：

只有經權利要求1至8中的任意一項所述的濾色器檢測方法進行檢測并被判斷為良品的濾色器才被提供給檢測步驟之后的步驟。

11.一種濾色器制造方法，其特征在于：

在發生了經權利要求1至8中的任意一項所述的濾色器檢測方法進行檢測并被判斷為劣品的情況下，將劣品發生的信息傳送給濾色器制造裝置。