[實用新型]一種防止硅片在生長多晶過程中產生崩邊的石英舟有效
| 申請號： | 200720190343.4 | 申請日： | 2007-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN201128778Y | 公開（公告）日： | 2008-10-08 |
| 發明（設計）人： | 萬關良;王喆;徐繼平;王輝;陸小勇 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/02 | 分類號： | C30B25/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 防止 硅片 生長 多晶 過程 產生 石英 | ||
【權利要求書】：
1、一種防止硅片在生長多晶過程中產生崩邊的石英舟，它包括：石英舟架，石英舟定位棒，石英舟定位管，上料棒，其特征在于：石英舟上料棒的外面，套一個石英護管，石英護管的直徑較上料棒大，石英護管上開槽，開槽的位置為上料棒開槽的上方，且垂直于上料棒的軸線。
2、根據權利求1所述的一種防止硅片在生長多晶過程中產生崩邊的石英舟，其特征在于所述的石英護管的直徑較上料棒大1-5mm。
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