[實用新型]一種顯微鏡移動載物臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720172407.8 | 申請日： | 2007-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN201110907Y | 公開（公告）日： | 2008-09-03 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陸賀生;魯聰 | 申請（專利權）人： | 比亞迪股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B21/26 | 分類號： | G02B21/26;G02B21/24 |
| 代理公司： | 深圳市港灣知識產權代理有限公司 | 代理人： | 馮達猷 |
| 地址： | 518119廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 顯微鏡 移動 載物臺 | ||
1.一種顯微鏡移動載物臺，包括基座(1)、可左右移動地連接在該基座(1)上的X移動板(2)，其特征在于：所述X移動板(2)上可移動地連接有可前后移動的Y移動板(3)。
2.根據權利要求1所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述X移動板(2)通過第一絲杠螺母機構(4)連接在所述基座(1)上。
3.根據權利要求2所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述第一絲杠螺母機構(4)由第一伺服馬達(41)驅動。
4.根據權利要求3所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述基座(1)上設有可感應所述X移動板(2)相對該基座(1)移動的左、右極限位置的左位置傳感器(42)和右位置傳感器(43)，該左位置傳感器(42)和右位置傳感器(43)可控制所述第一伺服馬達(41)停止轉動。
5.根據權利要求1所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述Y移動板(3)通過第二絲杠螺母機構(5)連接在所述X移動板(2)上。
6.根據權利要求5所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述第二絲杠螺母機構(5)由第二伺服馬達(51)驅動。
7.根據權利要求6所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述X移動板(2)上設有可感應所述Y移動板(3)相對該X移動板(2)移動的前、后極限位置的前位置傳感器(52)和后位置傳感器(53)，該前位置傳感器(52)和后位置傳感器(53)可控制所述第二伺服馬達(51)停止轉動。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述Y移動板(3)的頂面上設有可吸附被檢查產品的真空吸氣孔。
9.根據權利要求1至7中任一項所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述Y移動板(3)的頂面上固定有底板(6)，該底板(6)的一側鉸接有面板(7)，該底板(6)與該面板(7)之間連接有真空氣囊(8)。
10.根據權利要求9所述的一種顯微鏡移動載物臺，其特征在于：所述面板(7)的頂面上設有可吸附被檢查產品的真空吸氣孔(71)。
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