[實用新型]一種縮短外延尾氣處理器維護時間的裝置無效
| 申請號： | 200720169416.1 | 申請日： | 2007-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN201061753Y | 公開（公告）日： | 2008-05-21 |
| 發明（設計）人： | 何自強;馮泉林;常青 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/78 | 分類號： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 縮短 外延 尾氣 處理器 維護 時間 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種縮短外延尾氣處理器維護時間的裝置，它包括：水池、水霧過慮器，盲板，其特征在于：所述的盲板上裝有以下幾條進入水槽的管路：氮氣吹掃管道；自來水管道；由泵輸送化學液的管道；連接水泵的管道，該管道通入水池的一端帶有漏斗。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：自來水管道、由泵輸送化學液的管道分別接至一個三通管的不同接口上，該三通管的出口接一條管道，管道通入水槽中。
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