[實用新型]晶圓背面打標機的打標檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720151380.4
• 申請日: 2007-07-12
• 公開（公告）號: CN201060859Y
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳有章;林宜龍;唐召來;張松嶺;冀守恒
• 申請（專利權(quán)）人: 格蘭達技術(shù)(深圳)有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京英特普羅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 齊永紅

1.一種晶圓背面打標機的打標檢測裝置，其特征在于：包括一個標前檢測裝置和一個標后檢測裝置，標前檢測裝置和標后檢測裝置上均設(shè)置有一個攝像頭，標前檢測裝置位于打標平臺的上方，攝像頭向下對準晶圓的正面，標后檢測裝置位于打標平臺的下方，攝像頭向上對準晶圓的背面。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓背面打標機的打標檢測裝置，其特征在于：所述的標前檢測裝置包括固接在打標機機架上的高剛性橫梁(6)、安裝在高剛性橫梁(6)上的吊裝板(5)、與吊裝板(5)相連接的調(diào)整板(4)、安裝在調(diào)整板(4)上的攝像機安裝板(3)、以及安裝在攝像機安裝板(3)上的攝像機(2)和外罩(1)。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓背面打標機的打標檢測裝置，其特征在于：所述的標后檢測裝置包括安裝在打標機機架上的吊裝板(4’)、與吊裝板(4’)固接的調(diào)整板(3’)，設(shè)置在調(diào)整板(3’)上的攝像機安裝板(2’)、以及安裝在攝像機安裝板(2’)上的攝像頭(1’)。?