[實用新型]一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置無效
| 申請號： | 200720126571.5 | 申請日： | 2007-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN201083252Y | 公開（公告）日： | 2008-07-09 |
| 發明（設計）人： | 鄭玉綸 | 申請（專利權）人： | 鈺衡科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F16H1/20 | 分類號： | F16H1/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京申翔知識產權代理有限公司 | 代理人： | 周春發 |
| 地址： | 臺灣省臺南縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 真空 濺鍍制程 傳動 裝置 | ||
1.一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，包括：
一主體，具有復數個軸孔，各軸孔內貫穿軸桿；
復數個導輪，分別套設于各軸桿的一端；
復數個第一螺旋齒輪，分別套設于該各軸桿的另一端；
復數個將傳動心軸限定于原位旋轉的止推固定座，設置于該主體上，介于該復數個第一螺旋齒輪之間，且與該第一螺旋齒輪位于該主體的同一平面；以及
一傳動心軸，貫穿于該復數個止推固定座中，其更具有復數個第二螺旋齒輪分別對應于該第一螺旋齒輪；
該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪相互嚙合，并連接一驅動該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪的動力源，進而帶動該導輪轉動。
2.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該止推固定座更包含一止推軸承與一滾珠軸承。
3.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該動力源為一伺服馬達。
4.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該第一螺旋齒輪的材質為高分子聚合物。
5.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該第二螺旋齒輪的材質為合成金屬。
6.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該動力源以一連軸器連接任一該第一螺旋齒輪。
7.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該動力源以一連軸器連接該傳動心軸。
8.如權利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該傳動心軸更具有復數個使得該止推軸承、滾珠軸承及第二螺旋齒輪不受側向推力影響的束緊塊。
9.如權利要求4所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該高分子聚合物為鐵氟龍。
10.如權利要求5所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該合成金屬為不銹鋼。
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